磨削加工及退火热处理工艺对氮化硅陶瓷性能的影响.pdfVIP

r 《陶瓷工程增刊》1999年11月 115 磨削加工及退火热处理工艺对氮化硅陶瓷性能的影响 齐龙浩 苗赫灌 田增英 “ (清华大学新型陶瓷与精细J_艺w家重点实验室) Dept.ofMaterialsScienceandEngineering,TheUniversityofMichigan.USA 摘 要 通过对使用不同磨削工艺加工的氮化硅试样进行退火热处理，研究了金刚石砂轮的颗粒粒度和退火热处理 温度对试样抗弯强度的影响;利用陶瓷磨削加工理论对实验结果进行讨论 关锹词 氮化硅 陶瓷 退火热处理 磨削加工 前 言 2 实验方法 氮化硅陶瓷由于具有很高的强度、韧性和耐磨 本实验采用的氮化硅陶瓷试样由美国绿叶公 性，是最有希望在高温应用的工程结构陶瓷材料之 司提供。其配方为氮化硅粉添加 10%的烧结剂;混 一，从70年代初期以来许多科技工作者已经对该 合粉料经冷等静压成型后 ，气压烧结。然后使用 材料进行了广泛的研究，通过工艺技术改进，氮化 200/300和600的金刚石砂轮分别将试件加工成 硅 陶瓷材料 的断裂强度 目前 已可 以达到 为3x1x20(..)的试条，以下把使用200/300，砂 l000MP。一150OMPa，并在耐磨、耐腐蚀和耐高温的 轮加 〔的试样简称 1，试样，使用600砂轮加工的试 结构零件、工具方面获得广泛应用 ，如氮化硅陶瓷 样简称2试‘样。把加工好的1,2试条一起放人石墨 刀具，陶瓷轴承、挤压模具、发动机气门和凸轮挺柱 柑涡中的埋粉上面，埋粉的配方为90%Si,Na+ 镶块等。由于氮化硅陶瓷的高强度和高硬度特性， 4.3%aA120+5.7Y20,，然后在气压炉内20atm氮气 为了获得不同形状和精度要求的结构零件和工具， 压力条件下，将试条分别加热到1000`P:，1200`C， 磨削加工是必需的机械加工方法。在加工过程中由 14001，155090，1600`0，1700℃保温30分钟进行 于金刚石砂轮磨粒与工件接触，摩擦会在陶瓷零件 退火热处理。处理后的试样在室温下采用三点弯曲 表面或亚表面诱发表面微裂纹损伤和残余压应力， 法测定抗弯强度，其跨距为 12.5mm,横梁移动速度 直接影响陶瓷零件的性能川。所以，氮化硅陶瓷零 0.5mm/s。使用扫描电镜(SEM)观察试样的表面形 件的最终使用性能不仅决定于材料的配方和组织， 貌 。 还决定于零件磨削表面的状态。 一般氮化硅陶瓷需要使用烧结助剂如Y203, 3 实验结果与分析 AlzO，和MgO等通过液相烧结机理使材料达到完全 致密。这些烧结助剂在完成烧结后会形成玻璃相残 尸、2试样经不同退火工艺处理后进行抗弯强 留在晶粒边界，影响材料的高温性能。但也有资料 度测定，其实验结果见表 1。退火处理前，1试样的 报道2.‘3)通过退火处理工艺，氮化硅陶瓷间玻璃相 抗弯强度为943.86MPa,高于2试“样的抗弯强度 的流动可以减小材料中的裂纹尺寸并使机械加工 800.15MPa;随着退火处理温度由10001、1200`0、 缺陷钝化或产生愈合，从而部分或完全恢复含有裂 1400:,1550`0逐渐增加，它们的抗弯强度均呈下 纹试样的强度。 降趋势，而且 1试样抗弯强度的下降速率高于2，试 本论文采用不同粒度的金刚石砂轮加工试件， 样，如图1所示。当退火处理温度为1550℃时，两种 研究氮化硅陶瓷磨削加工以及退火热处理工艺对 试样的抗弯强度均达到最低值，分别为566.46MPa 材料抗弯强度的影响。 和 540.65