管式PECVD设备操作及维护.docVIP

广东爱康太阳能科技有限公司 文件编号 编辑 陈郡志 文件名称 管式PECVD设备操作规程 页 码 1/8 编制/日期：2011/3/12 审核/日期： 批准/日期： 目的 确保PECVD良好的运转和延长PECVD的寿命。 使用范围 PECVD维护及保养。 3. 内容（ Centrotherm PECVD） 3.1 开机 3.1.1 打开冷却水先开出水阀，再开进水阀、压缩空气、N2、特气（SiH4、NH3）～N2压力计调为2～特气～ 3.1.2 打开设备侧面红色旋转式电源开关；打开位于真空泵正上方的黑色旋钮电源开关，绿色指示灯亮为开关已打开 3.1.3打开UPS电源开关；电脑UPS电源ON Line”的状态 3.1.4 打开设备UPS电源开关＋V－4F7及＋V－4F8；打开＋V－F开关（24V in general CMS）以及相对应的加热开关（＋V1－S1、＋V2－S1、＋V3－S1、＋V4－S1）。打开24V电源控制开关； 打开CESR控制开关检查每根炉管的状态Tube＝readyLife＝readyDoor=closed，PLC=ok，SLS=up，TGA free=Yes；将炉管温度设置为450℃Manual T-Paddle All Set point＝ 3.1.6 待炉管内的温度0℃时，便可进行生产。 降温，确保每个炉管的温度降至100℃以下 Manual T-Paddle All Setpoint＝20℃ 将炉管内的压力设置为最小。 Manual Vacuum Tube Pressure＝Minimum 打开大氮：Manual Gas N2NO Valve＝Open 关闭大氮：Manual Gas N2NO Valve＝ 3.2.4 关闭特气阀门，只关闭位于真空泵房的特气保护阀，设备尾部的特气阀可以不关闭；关闭氮气阀门。 关闭真空泵 Manual Vacuum Pump Switch Off。 广东爱康太阳能科技有限公司 文件编号 编辑 陈郡志 文件名称 管式PECVD设备操作规程 页 码 2/8 3.2.6 关CESAR Service Shutdown Yes。 3.2.7 关闭总电源： 将Mainswitch开关调至OFF档。关闭真空泵电源开关。 关闭真空泵设备上的冷却水，先关进水口，再关出水口。 保养周期 序号 内容 实 施 方 法 检 查 标 准 工 具 时 间 班保养 1 清洁上料台 用酒精和无尘布擦拭桨，存储区，上料台 上料台表面干净，无碎片等异物 无尘布、酒精 0.2H 2 清洁石墨舟上氮化物 用N2枪吹扫石墨舟表面 石墨舟表面无氮化物 吹尘枪 0.1H 3 清洁石墨舟承载车 用拭有酒精的无尘布擦拭承载车 承载车上无碎片 无尘布、酒精 0.1H 4 清洁石墨舟装片房和冷却柜 用拭有酒精的无尘布擦拭装片房和冷却柜 装片房和冷却柜无碎片 无尘布、酒精 0.1H 5 清洁真空吸笔 用拭有酒精的无尘布擦拭真空吸笔 被吸的硅片上不留下痕迹 无尘布、酒精 0.1H 6 检查氮气压力 2～3bar 确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修 N2压力值达到2.5±0.5bar 无 0.05H 7 检查压缩空气压力 5～6bar 确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修 CDA值达到5.5±0.5bar 无 0.05H 8 检查硅烷压力 1-2bar 确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修 SiH4压力值达到1.5±0.5bar 无 0.05H 9 检查氨气压力 1-2bar 确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修 NH3压力值达到1.5±0.5bar 无 0.05H 10 检查冷却水进水温度 18～22℃ 确认温度计上的显示值能否达到要求值，否则通知设备人员检修 温度计温度达到20±2℃ 无 0.05H 11 检查冷却水进水和出水压差﹥3bar 确认压力计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修 冷却水进水压力减去出水压力值大于3bar 无 0.05H 12 检查排风有流量﹥100L/min 确认流量计上的显示值能否达到设定值，否则通知设备人员检修 流量计上流量值大于100L/min 无 0.05H 广东爱康太阳能科技有限公司 文件编号 编辑 陈郡志 文件名称 管式PECVD设备操作规程 页 码 3/8 13 检查冷却房风机 用小车推入冷却房查看风机是否正常转动,有风 风口有