Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程.docVIP

题 目：Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 生产要求着装，戴好乳胶手套和口罩 2．查看各管所处的状态。待机状态的管子可以调试 3．点击用户输入密码 乳胶手套戴两层 1.运行工艺时指示灯为绿色。 设备人员和操作员工的权限密码要分开不要通用。 防护眼镜、 乳胶手套 1min 2min 1min 1人 1人 1人 题 目： Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 4．点击“Handling”这时系统处在“Manual”状态。 5． 点击“Manual”再点击 Silder,点击To lift,使空舟和小车一起进入上料区，准备调试。如下图。 6.点击“Lift”点击“open clamp”选择 “TO silder”然后点击“close clamp”接着点击“upword”。抓起空舟放到要调整测试的位置。 小车运行时，注意安 全，上料区不要随意 站人。 在运行的过程中，查 看抓舟的位置是否有 偏差。必要时调整。 1min 2min 1min 1人 2人 1人 题 目： Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 7.点击“storage”选择“storage1”点击 8.点击to storage,到位置后点击downword,检查舟在storage1的位置是否正确.如果不正确调整机械臂 9.按照以上步骤分别检查Storage2-6位置， . 运行的时候一定要谨慎，小心把舟碰坏。 如果舟在storage上的位置不正确，我们优先考虑调整机械臂位置。 试的时候与storage 1的步骤相同。 空舟 空舟 空舟 10min 10min 30min 2人 2人 2人 题 目： Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 10.点击“Paddle”选择“Paddle1” 11．点击to Paddle ,到位置后点击downword,检查舟在Paddle 1的位置是否正确.如果不正确调整机械臂. 12．按照以上步骤分别检查 Paddle 2-4位置” . 运行的时候一定要谨慎，小心把舟碰坏。 如果舟在Paddle 上的位置不正确，我们优先考虑调整机械臂位置 试的时候与Paddle 1的步骤相同。 空舟 空舟 空舟 10min 10min 30min 2人 2人 2人 题 目： Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 13.点击“Manual-lift-Tosilder。当舟放到小车上后点击open clamp-lift-Paddle1-Silder-Topo.将空舟取出，测试完毕 14．清理现场5S，并交付生产 运行的时候一定要谨 慎，小心把舟碰坏, 小 车运行时，注意安全， 上下料区不要随意站人 废弃物要分类放置在专 用的垃圾桶内 空舟 5min 2min 2人 1人 防护用品 打开Jobs 界面 进入系统 乳胶手套 点击 Handling 正在工艺 输入密码 等待工艺 进入Handling菜单 至下页 Silder上料 Manual mode 至下页 Storage1位置 检测 检查位置OK？ Storage2-6位置 的检测 机臂抓空舟 Storage 1位置 检查舟位置是否偏移。 Paddle 2-4位置 的检测 检查位置OK？ Paddle1位置 检测 将空舟放在小车上 然后点击To lift 整理现场5S 整理5S前 取走空舟 至下页 Pad