《PECVD日常点检项目》.docVIP

《PECVD日常点检项目》 1 检查真空泵运行是否正常 A 真空泵的BP、MP值的察看； B 真空泵自带的报警信息察看： 至如下图信息后，按面板上的“Enter”键可进入，按面板上的“PRG”键可退出 C 真空泵背压值的察看： D 真空泵氮气（N2）总压值，冷却水进出口有无漏水： E 真空泵冷却水进出手阀状态及压力值： 2 检查尾气处理设备是否正常（详见《Scrubber日常点检项目》） 3 目查退舟和进舟机械结构是否正常 A 目视桨（Paddle）进退有无异常； B 桨静止时目视其有无倾斜； C 顺便目视提臂(Arm)在取、放舟时有无异常； D 桨（Paddle）头的卡箍需要关注是否有松； 4 查看CMI电脑警告内容 PECVD触摸屏中CMI电脑警告内容中，显示了机器在这段时间内的运行中状况（Alarm菜单里）； 5 目检PECVD特气管路是否异常 A PECVD设备至Ebara真空泵 B Ebara真空泵至Scrubber设备之间的管路联接情况； C 特气柜中特气管路的联接情况； D 特气仪表参数值是否在正常范围内； A、B、C三部分，目视其各个联接头之间是否有颜色异常，如果有淡黄色的粉尘存在，就要做出更一步的细致检查与紧固相应接头； D部分，察看各气体压力值是否在标准范围内，压力值不能过大也不能过小； 6 目检PECVD真空泵进出气管路是否异常（详见[真空泵运行是否正常]） 7 查看CMI电脑中显示加热电流状况 A PECVD炉内、外温度设定及实际值； B PECVD设备待机时的标准参数状况； SLS=UP Scrubber=OFF Setpos= 0mm TGA= YES Door=Closed Actpos= 0mm Lift= ready PLC=OK Tube=ready Boat Stop=0 Boat Homed=1 Boat RefOK=1 C 加热电流百分比状况； 8 查看尾气NAOH情况 目前NaOH都为自动加液，查看它是为了保证NaOH没有溢出的异常现象； 9 目检设备有无漏水 A 确保PECVD机台各个冷却水接入口没有漏水现像； B 确保PECVD机台内部可控硅冷却水接口没有漏水现像； 10 查看冷却水流量 A 炉门口冷却水流量检查（共四个流量计）； B 加热区上方冷却水流量检查（共五个流量计）； C 炉门尾冷却水流量检查（共四个流量计）；