研磨轮结构参数对工件加工精度的影响(320.7Kb).PDFVIP

中国机械工程第 13 卷第 20 期 2002 年 10 月下半月 文章编号: 1004- 132 (2002) 20- 1724- 03 研磨轮结构参数对工件加工精度的影响 郭隐彪　张　翊　庄司克雄 　　　　摘要: 通过建立研磨轮和工件的相对运动数学模型, 得出研磨轮在工件 上的切削运动轨迹方程, 由此得到超精密平面研磨中, 不同结构参数研磨轮 的滑移轨迹长度。引入精度系数的概念, 用于评价不同结构参数研磨轮对工 件的加工效果。采用微粒金刚石研磨轮对单晶硅和压电陶瓷材料进行研磨实 验的结果表明, 使用设计合理的研磨轮可以提高研磨的加工精度。 关键词: 超精密平面研磨; 微粒金刚石; 研磨轮结构; 加工精度 郭隐彪　教授 中图分类号: T G74　　　文献标识码:A 　　游离磨粒加工如研磨、抛光等, 使用简单的机 器虽然很容易得到非常高光洁度的镜面, 但是存 在加工后工件表面误差大, 加工工序不容易控制 [ 1 ] 等因素。L in 等 提出了一种采用超微粒金刚石 研磨轮的垂直布置的超精密平面研磨方法。实验 结果表明, 平面研磨具有很高的加工精度及加工 [ 2 ] 效率 。但工件的加工精度受到研磨轮结构、研磨 [ 3 ] 轮和工件相对运动等参数的影响 。 本文通过建立平面研磨中研磨轮和工件的相 对运动数学模型, 通过计算加工工件上一点在研 图 1　 研磨轮和工件的相对运动关系 ′ x - rco s+ aco s ( t) 磨轮上的滑移长度, 得到不同结构研磨轮在工件 ′ = 2 (2) y r sin + a sin ( t) 2 ( ) 上一点的有效加工深度 精度系数 。并通过分析 由研磨轮的边界条件可知其外周和内周方程 研磨轮结构参数和工件加工精度系数之间的关 ( ′ ) 2 ′2 R 2 x - a + y 2 系, 解决超精密平面研磨中研磨轮结构参数的选 ′ 2 ′2 = 2 (3) (x - a) + y R 0 择问题。 式中, R 2 为研磨轮的外周半径