适合薄片·玻璃基板·柔软工件的吸着、固定。.PDFVIP

吸板 SP 系列 适合薄片·玻璃基板·柔软工件的 吸着、固定。 SP SP ZCUK AMJ AMV ZH -X185 相关 元件 1367 最适合薄片·玻璃基板·柔软工件等的 吸板 吸着、固定工件，不会产生皱折、气泡和吸着痕迹。 1 在吸着部表面，有许多的微细气孔， 由于利用抽吸吸着，工件不变形。 开孔板:原来 吸板 薄片的吸着 烧结体(球体) 开孔板:以前 吸板 气孔 气孔 吸引 吸引 工件表面上没有皱折和气泡。 柔软工件的吸着 开孔板:原来 吸板 吸引 吸引 吸引 吸引 工件背面没有吸着痕迹。 加工精度高 0.030 A ※ 2 FL 0.015 平面精度15μm 由于吸着面的平面精度 Rz 3.2 高，吸着时工件不翘曲，