无阀型微泵中微扩散收缩管的静态分析研究.pdfVIP

无阀型微泵中微扩散／4女缩管的静态分析 赵全亮邱成军 张辉军崔今花 黑龙江大学 集成电路重点实验室 黑龙江 哈尔滨 150080 出了扩散／收缩管的开口角度在小角度变化时，扩散效率在不同压强差区域的变化规律，及过渡点压强 差值与开口角度的关系．同时也给出了在只改变长度的情况下不同压强差区域扩散效率的变化趋势，并 且得出在不同压强差区域长度对扩散效率的影响． 关键词：无阀型微泵扩散管 收缩管静态分析 1．前言 近年来，基于硅微机械加工技术制备的微泵德到了飞速发 展，各种驱动方式和结构的微泵不断涌现。其中无阀型微泵以 其工作频率高、可靠性好等优点成为了研究的热点，并且人们 不断致力于提升它的性能【l’21。对于无阀型微泵来说，不仅驱 动膜片的驱动能力是影响微泵性能的关键因素，而且微扩散／ 收缩管的几何参数设计也直接影响着微泵性能的好坏【31。因 此，为了优化设计扩散／收缩管，有必要了解扩散／收缩管中 图l平板型扩散／收缩管示意图 流体的运动状况。 本文模拟的是矩形截面的平板型扩散／收缩管(如图1所示)，由于它和圆形截面扩散／收缩管相比具有 达到最佳性能时长度短、制作简易等优点，所以多被采用在MEMS技术制作的无阀型微泵中【41。 2．工作原理 无阀型微泵的基本工作原理如图2所示。其工作状态分为“供水状态”和“排水状态”：泵腔容积增大 时是“供水状态”，从扩散管流入泵腔的流体多于从收缩管的 流入的流体：泵腔容积减小时是“排水状态”，原来的收缩管 ． 变成扩散管，而原来的扩散管变为收缩管，从扩散管流出的流L—夕 量比从收缩管流出的多，因而产生净的出水量。泵腔容积如此 周期性变化，就会使流体不断地产生单向流动。 3．理论分析辱3 在内流系统中，扩散／收缩管的压强损失系数岛和考。与 (b) 压强差卸的关系式分别为 图2无阀型微泵原理图 (a)供水状态：(b)排水状态。 卸=岛譬 卸《譬 式中p为流体密度，％和圪分别是流体在扩散管和收缩管中的平均入口速度。由此可以定义扩散／收缩管 的扩散效率，7为【4】 叩2孝 224 从上式我们可以看出，如果要求扩散管具有整流作用，扩散效率就一定要大于l，这意味着扩散方向的 压强差小于收缩方向的压强差，而且只要改变A。朋2的比值就可以改变77的值，并且它的值越大，说明扩散， 收缩管的性能就越好。 CADof 本文采用IntelliSuiteMEMS设计模拟软件中的3D 寸的扩散／收缩管进行建模和静态模拟分析，然后计算出fd和f。的值，进而得到扩散／收缩管的效率．『7值。 模拟的流体为水，它的雷诺数(流体惯性力与粘滞力的比值)控制在O～1900，因此可以认为此时流体 的状态为层流pj。 4．模拟结果 4．1角度和压强差对扩散效率的影响 扩散／收缩管中的开口角度对扩散／收缩管的性能有着至关重要的影响。不同开口角度的扩散／收缩管 的性能是不同的，而小角度时，变化尤其明显。 图3是在1。～9。的范围内改变扩散／收缩管的开口角度模拟所得的结果。所有扩散／收缩管的长度 和小口截面积都分别固定为3000岬和50岬20在图3中可以看到，开口角度为1。的扩散／收缩管的扩散 效率(r／)值随△p是成线性变化的，而3。～9。的扩散／收缩管的扩散效率r／随开口角度和卸变化则显示 了截然不同的变化趋势：在△p小于O．5kPa左右的区域，玎随着△p的增加而增大，并且角度越大，r／越大； 在卸大于6kPa左右的区域，77随着卸的增加而减小，但减小的趋势越来越缓，并且在此压强差区域，角 度越大，r／越小。因此，在压强差较小的区域，大角度显示了比较好的性能，而在压强差较大的区域，小角 度显示了比较好的性能。在图中我们还可以看出，角度越大，曲线转折点卸的值就越小。这可能是因为开 口角度越大，扩散管就越容易发生流体分离(对应于大的损失系数)，所以需要的卸值也就越