直接热电气体传感器：设计方面和第一气体传感器.doc

直接热电气体传感器：设计方面和第一气体传感器 作者：Frank Rettig，Ralf Moos 摘 要 设计方面，该气体传感器被认为是一种新型直接热电气体传感器。这种传感器是基于一种在环境气体气氛中可以直接改变自己的物质性质塞贝克系数的材料。由于测量是一个电位，因此一个稳定的环境是非常必要的，特别是与电阻气体传感器相比。相比之下，以该电位的氧传感器，并没有提及气体是必要的，设置多层厚膜技术设计的选择。为了能准确检测塞贝克系数的材料，正弦敏感膜的调制加热器适用于不同的温度差异。最初的传感器设计是观察串扰调制电压测量气敏感层热电。这种现象的起源可以解释为温度差的热电信号和傅立叶分析气体敏感层。一个额外的电位层被认为是有足够的能力来防止这种串扰。作为第一个例子，热电氧传感器利用气体srti0.6fe0.4o3敏感材料制造。它能够证明，这直接热电气体传感器的氧的氧气灵敏度媲美电阻srti0.6fe0.4o3 -气体传感器。一种高精度传感器被发现。 关键词：热电技术;塞贝克系数;热电力;等电位层;傅立叶分析 1 介绍 基于半导体氧化物薄膜电阻式气体传感器被认识至少有40年。该薄膜电阻变化是由于氧化还原反应中的环境气体的组成部分，同格的传感器材料。这些电阻率变化由表面的影响，在温度低于500 度，如在n型半导体二氧化锡或体积影响，大多发生在700度以上。突出的例子对于后者的是阻氧传感器用于恶劣环境利用氧气分压的依赖电子电荷载体密度一样，在二氧化钛 ，在Nb2O5 在不同SrTiO3或SrTi1?xFexO3?δ 。该传感器的信号当铁含量X是在介于0.3和0.4 时，温度是独立的。对于所有这些电阻温度传感器，有一个主要的缺点，该传感器的电阻也取决于薄膜的几何形态。因此，被测传感器的电阻是不仅一直承受生产过程中的波动，但它也强烈影响薄膜在震裂、磨损和烧结期间的操作。因此，为了这种类型的传感器的发展，长期稳定是一个重要的问题。 与此相反，电位气体传感器的信号，像众所周知的空气-燃料传感器（探头）用于汽车废气，不依赖于几何 ，因为被测是一个潜在的差异，这是独立的路径。在这里，这是一个挑战去提供一个长期稳定的参考气氛 。在案件的探头的情况下，风管需要一个特殊的泵电路，是需要作此用途。 由于塞贝克系数η是与浓度电荷载体的半导材料直接相关的，电阻率中同时反应导致的变化，电热电压VS是以一个温度梯度的形式表现的。jonker在几十年前全面描述了塞贝克系数和电阻率（或电导率）的金属氧化物之间的关系。因此，塞贝克系数η的物质也取决于周围的气体环境，但不依赖于几何图形，因此被测对象是一个潜在的差异。举例来说 一个P型半导体氧化物的塞贝克系数η ，S是与缺陷电子浓度P。公式为：1 在公式1里面，K是波尔兹曼常数， e是电子电荷，NV是原子价态的有效状态密度，Ah是缺陷电子（洞）的运输系数。由于氧化还原反应的反作用该洞浓度P的变化改变了塞贝克系数材料ηS，气体敏感层的实测热电电压VS是塞贝克系数的薄膜材料函数η s和应用温度差异△T（EQ2.）。 大家都知道热电电压的优点,ηPt △T (这里是白金),这也是实测热电电压VS的一部分, 计算该塞贝克系数的抽样VS时，温差变化△T已被精确测量.这是热电气体传感器与电阻气体传感器相比不利的地方。 与电阻气体传感器相比，如果是依赖于塞贝克系数材料分析物气体的浓度，这种传感器将被命名为直接热电气体传感器.对这样一个传感器， 对于这样的传感器只有极少数的刊物知道. 例如：其中更多的报道间接热电气体传感器，例如：其中惰性气体热电材料是部分涂上具有催化活跃的薄膜。然后，所产生的热量是一个放热反应的气体分析物与氧化造成温差之间的涂层和未涂层的热电部分材料具有大多非常高的塞贝克系数而且总是独立的分析物体浓度。生成温差是一个分析物气体浓度的功能和对热电电压的测量。因为磨损或中毒的催化层，直接影响温度差异，所以间接热电气体传感器容易老化。 这项研究很注重设计问题，主要涉及直接热电气体传感器。因此，材料方面的选择并没不是主要焦点在这篇文章中。为了提供证据显示该传感器的工作原理，举个例子，其中一个直接热电P型氧传感器将被显示。直接热电传感器排放监测报告在随后的文件其中也将直接热电气体传感器与传统的电阻式传感器进行比较。 原则上，所有的材料都适合电阻传感器也可用于直接热电气体传感器。电子塞贝克系数和电阻材料受移动的电荷载体的浓度影响，电子在导带和空穴的原子价带。但是，还要考虑到这部分电导率双方的电子和空穴是正价的，而塞贝克系数的电子和空穴有不同的标志，因此，热电直接气体传感器在固定最低点有极高的灵敏度，其中电子和空穴有相同浓度。然后，电阻并不因为周围气温的变化发生明显的改变，但总的来说塞贝克系数的变化率和敏感性却非常