硅基多孔阳极氧化铝膜研究进展-西北大学学报.pdfVIP

西北大学学报( 自然科学网络版) 2012 年7 月，第10 卷，第4 期 Science Journal of Northwest University Online Jul. 2012 ，Vol.10 ，No.4 硅基多孔阳极氧化铝膜研究进展 李 丹，乔奇巍，吴俊俊，张 辰，王凯歌，胡晓云，白晋涛 (西北大学光子学与光子技术研究所/ 陕西省光电技术与功能材料省部共建国家重点实验室培育基地/ 国家级光电技术与功能 材料及应用国际科技合作基地，陕西 西安 710069) 摘 要：简要地叙述了硅基PAA 膜的结构、特点、应用以及目前的发展现状。认为硅基多孔阳极 氧化铝（PAA ）薄膜因与物化性能良好的硅基底相结合，不仅避免了PAA 膜易破裂、损坏等缺点， 而且在制备生化传感器等纳米器件方面具有广泛的实际应用前景。 关 键 词：硅基多孔阳极氧化铝，结构，应用，发展现状 中图分类号：TQ153.6 文献标识码：A 文章编号：1000-274X(2012)0509-08 Research revi