光学工程-仪器科学-现代光学测试技术-方法及实验报告.docx

实验一：数字干涉测量方法及实验一、实验目的和实验内容(1) 了解激光干涉的近代方法——数字干涉技术的原理和方法；(2）掌握干涉的实时检测技术；(3）了解数字干涉方法的特点及应用场合。二、基本原理随着电子技术与计算机技术的发展，并与传统的干涉检测方法结合，产生了一种新的位相检测技术——数字干涉技术，这是一种位相的实时检测技术。这种方法不仅能实现干涉条纹的实时提取，而且可以利用波面数据的存储功能消除干涉仪系统误差，消除或降低大气扰动及随机噪声，使干涉技术实现λ/100的精度，这是目前干涉仪精度最高的近代方法其原理如下图所示。图中的实验系统仍采用T-G干涉仪，但参考镜2由压电陶瓷PZT驱动，产生位移。此位移的频率与移动量由计算机控制。设参考镜的瞬时位移为li，被测表面的形貌（面形）为w(x,y)，则参考光路和测试光路可分别用下式表示：(1)(2)式中a,b为光振幅常数。参考光与测试光相干产生干涉条纹，其瞬时光强由式1与式2，可得：(3)式中是干涉条纹的对比度。式3说明，干涉场中任意一点的光强都是li 的余弦函数。由于li 随时间变化，因此式3的光强是一个时间周期函数，可用傅里叶级数展开。设r=1，则(4)式中：由三角函数的正交性，可求出Fourier 级数的各个系数，即从而求得被测波面，由下式给出：式中为进一步降低噪声，提高测量精度，可用P个周期进行驱动扫描，测量数据作累加平均，即式7 说明孔径内任意一点的位相可由该点上的n×p个光强的采样值计算出来，因此，可获得整个孔径上的位相。除实现自动检测外，还可以测定被测件的三维形貌。三、实验装置及设备1－激光器2－小口径衰减器3－定向孔5－定向孔6－反射镜7－反射镜8－扩束镜9－反射镜10－扩束镜14－分光棱镜20－准直透镜22－可调光阑23－光电接收器24－导轨16－多功能试件夹及组合工作台18－组合工作台激光器1发出的激光经衰减器2（用于调节激光强度）后由二个定向小孔3，5 引导，经反射镜6，7 进入扩束准直物镜8，然后经扩束镜10，由分光镜14 分成二束光，分别由反射镜16，18 反射形成干涉条纹并经成像物镜20 将条纹成于CCD 23 上，这样在计算机屏上就可看到干涉条纹。工作台18 上，在平面反射镜后面装有压电陶瓷PZT。四、实验步骤1. 扩束2. 调节工作台18 上的测微螺杆并启动压电晶体工作电源，使反射镜产生轴向位移，在计算机上看到条纹平移3. 调整CCD 在轨道上的位置，使干涉条纹清晰，锁定234. 调节可调光阑22 孔径位置，滤除寄生干涉光五、实验结果图1干涉条纹（3张，最后一张是平移参考镜后的干涉条纹）图2三维立体透视图六、实验报告要求1．你认为计算机显示屏上应出现怎样的激光干涉条纹，实验调试才算基本达到要求？光斑形状接近圆形。其中的干涉条纹明暗相间、间隔相等。2．怎样从显示屏显示，看出已达到位相的实时检测的目的？在平行光线的方向调节参考镜2的位置，相当于改变其中一路光线的光程，发现干涉条纹实时地改变方向。七、思考题1.采用下列方法可以提高测量精度吗?a.增加一个周期内的台阶数(n); b.增加扫描的周期数(p)答：a：由式(6)可以看出增加一个周期内的台阶数n采集进行平均，可以减少随机误差，提高测量精度b：由式(7)可以看出增加扫描的周期数p进行驱动扫描也是进行累加平均，和a的作用一致。2.测量精度一般由测量正确性和测量重复性组成，试分析增加 n 或p 的作用以及利弊关系答：增加n或p将采集更多的测量信息进行累加平均，可以减少随机误差，提高测量精度。但是测量次数的增加会带来响应延迟。3.试分析决定数字干涉仪测量准确性的因素和提高测量准确性的主要方法答：决定数字干涉仪测量准确性的因素主要有光学元件加工及装配误差、CMOS的对准（是否正入射）及其本身的畸变以及随机误差等。为提高测量准确性，可以使用更精密、稳定的设备，适当增加n和p。