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图案化聚合物表面的形状记忆特性-吉林大学学报.pdf

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    第卷第期吉林大学学报理学版年月图案化聚合物表面的形状记忆特性关薇胥亦实牛立刚王艳辉于颜豪夏虹吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室长春摘要利用纳秒激光双光束干涉的光刻方法在光刻胶层制备具有周期性的一维光栅结构样品并研究其形状记忆特性结果表明显影后的样品在环境温度为及压力的作用下光栅形貌发生改变光栅垂直高度降低衍射光强减弱当样品冷却至室温时光栅形貌可维持不变当样品的环境温度为时光栅形貌恢复原状实现微观形状记忆功能关键词微加工双光束干涉形状记忆聚合物微图案化中图分类号文献标志码文章

    ( ) 第 卷 第 期 吉 林 大 学 学 报 理 学 版 55 3 Vol.55 No.3 年 月 ( ) 2017 5 JournalofJilinUniversit ScienceE

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