宏／微双重驱动技术的研究和应用现状.docVIP

宏／微双重驱动技术的研究和应用现状 第1期 2007年1月 机械设计与制造 MachineryDesignamp;Manufacture-153- 文章缩号:1001—3997(2007)01-0153-03 宏/微双重驱动技术的研究和应用现状 陈洪涛程光明肖献强2于保军3杨志刚1 (吉林大学机械科学与工程学院.长春13oo25) (2合肥工业大学机械与汽车学院.合肥230009) P长春工业大学机电学院.长春130o22) Researchandapplicationofmacro/microdual-drivetechnology CHENHong-tao,CHENGGuang-ming,XIAOXian-qiang2,YUBao-jun3,YANGZhi-gang (MechanismScienceandTechnologyAcademyofjilinuniversity,Changchun130025,China) (~IechanismandAutomobileAcademyofHeFeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China) (3MechanismandElectronAcademyofChangChununiversityofTechnology,Changchun130022,China) 【摘要】宏/微双重驱动技术因具备大行程,快速响应,高精度定位等特点,近年来在微操作领 域得到了广泛的应用.总结了目前常用的宏/微双驱动的宏,微定位部件.并分析了它们各自的优 缺点及使用范围;并介绍了常见的宏/微双重驱动系统的集成方式,以及国内外这方面研究取得的 成果.为即将从事这方面研究的/,3I提供了很好的参考. 关键词:宏,微双重驱动;微操作;宏动定位;微动定位 【Abstract]Macro/microduddrivetechonologhygetbroadapplicationinnearbyyears possessthecharacterssuch(15largetravelrange,highspeedresponseand^accuracy.thispaper $urgtupcommonm4~roandmicroorientationcomponentsthatusedinmacro~microdrivesystem. Theirexcelleneysanddisadvantagesareanalyzed.Furthermoresomecom~nonintegrationmodesand . 如inthisdomainareintroduced.thispaperprovideref~renee$tothosewhoareabouttoengagein thisfi~/a. Keywords:Macro/Micradual-drive;Micro-manipulation;Macro-positioning;Micro?- positioning 中图分类号:TP242文献标识码:A 1引言 微纳米技术的迅猛发展使得研究对象不断微细化,对微小 零件进行加工,调整,微机电系统EM的装配作业等工作都需 要微操作系统的参与.在自适应光学,光纤对接,医学,生物学,特 别是动植物基因工程,农产品改良育种等领域,需要完成细胞融 合,微细手术等精细操作.都离不开高精度作系统m. 随着科技的发展,相应地,这些领域对所应用的微操作系 统也提出了更高的要求,特别是运动精度,响应速度,力感觉,可 控性,灵活性等方面的要求越来越高.对于微操作任务来说,在 关注高精度,纳米级定位检测的同时,还要兼顾微米级的大范围 宏动定位.例如,在生物细胞操作过程中.要完成细胞的转移与 搬运等,同时还要实现细胞注射,切割,融合等.生物细胞的尺寸 一 般在lO-dOpan之间,实现细胞的搬运需要微米级的定位作 业,而要实现细胞注射,切割等则,需要纳米级的定位技术.在这 种情况下.宏观与微观的矛盾问题十分突出,如果使用传统的单 两者兼顾. 针对上述情况,在20世纪80年代的中后期,国内外学者 相继提出了宏臌双重驱动系统的初步想法.一般的宏,微双 重驱动系统定位为:宏臌双重驱动系统包括宏,微操作系统两 个子系统,微动定位部件附着在宏动定位部件的末端,宏动部件 以地面为参照物,实现大行程,微动定位部件以宏动定位部件为 参照物,实现高精度定位.因此具有了大行程,快速定位,高精度 定位补偿等优点. 宏动与微动的定义,并不是从自身结构的尺度来划分的, 在有些系统中,宏动与微动部分在尺度上并没有绝对的差别.多 数是根据在集成系统里,根据实现的定位精度和要完成的任务, 相对来确立的.经过近20年的探索,不论是从理论论证还是从