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二oO六年全国光电技术学术交流会会议论文集(F)
SU．8平面抛物形折射透镜的设计与研制
黄承超1，徐矗1，王占山1，陈玲燕1
田扬超2，刘 刚2
(1．同济大学精密光学工程技术研究所，上海200092
2．中国科技大学国家同步辐射实验室，安徽合肥230029)
摘要。作为应用于第三代同步辐射光源的重要一种x射线元件，复合折射透镜成为了近年来X射线光学
研究的热点之一．平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种．研究过程中，考虑到x射线衍射仪的特
定检测环境及随后加工上的技术要求，优化设计了透镜各个参数，用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹，模
拟验证了设计结果．单组透镜的几何孔径为250¨m，焦距为30cm．共设计30组透镜，透镜个数从1个变化
到30个，相应的抛物形顶点处的曲率半径从1．23 keV条件下，透镜的
lain变化到37Um．在光子能量为8．05
平面抛物形折射透镜．透镜厚度为224
lain．透镜光学性能的测试正在进行中．
关键词。抛物形折射透镜； x射线； 聚焦；X射线衍射仪； sU-8；紫外光刻
中圈分类号：0434．1 文献标识码：A
andfabricationof
Design planarparabolic
-
refractive’lensesfromI-1omSU．8U resist
evitcarter3a’tsiser layer
HUANG Ya01，WANGZhan．shahl，CHEN
Cheng．cha01，XU Ling．yahl
TIAN Gan92
Yang．cha02，LIU
ofPrecision
(1．Institute 0p6calEngineering，TongiiUniversity．Shanghai,200092,China；
2．The Radiation ofScienceand
National ofChina,Hefei。230029，China)
SynchrotronLaboratory,UniversityTechnology
Abstract：Planarrefractivelensesare kindof refractivelenseswhichare
one
parabolic importantcompound
usedinthethird radiationsourcesasan device．Inthis setof
generationsynchrotron importantX—ray experiment,a
30 lenseswith of250 focaldistancesof30cmat8．05keV
micro-focusingplanarparabolic equalaperturesIxm．equal
is is to
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