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普通氧化物阴极工艺改进 韩俐玲 00016 中国电子科技集团公司第十二研究所北京1 摘要：本文通过对难以腐蚀的阴极基金属表面实施阴极加工过程中的工艺改进， 不仅制成的阴极在管中避免了打火和掉粉现象，而且满足了整管的使用要求。 关键词：普通氧化物阴极 氧化镍涂层 碳酸盐涂层 1．引言： 4096阴极应用于超高频金属陶瓷三极管中，采用的是普通氧化物阴 极。普通氧化物阴极是碱土金属氧化物阴极的简称，它是用碱土金属钡、 锶、钙的碳酸盐直接喷涂在阴极基金属上制成的。在制造4096阴极过程 中，由于阴极基金属是车制的，其表面虽经反复退火、腐蚀，仍难以达 到均匀的腐蚀面。同一批阴极基金属经过相同的腐蚀工艺(三元液腐蚀) 腐蚀，却得到截然不同的腐蚀面(见图1)。这样阴极在制成的管中可能 会发生打火和掉粉现象，为此，我们经过多次工艺改进，最终采用了喷 涂氧化镍粗化层工艺解决这个技术关键问题。 腐蚀均匀的表面 腐蚀不均匀的表面 图1．高倍形貌显微镜下阴极基金属腐蚀结果 2．工艺改进： 277 2．1氧化镍粗化层的制备： 2．1．1．严格控制焙烧温度(350℃)，将草酸镍粉在马弗炉中焙烧成氧化 镍粉。保温的同时要不断的搅拌使其氧化充分。 2．1．2．用焙烧的氧化镍粉配制成氧化镍涂料，经过200目筛子过滤，用喷 枪均匀地喷涂在腐蚀不均匀的阴极基金属上(薄薄一层即可)。 000 2．1．3．将已喷涂好氧化镍涂层的阴极基金属在阴极烧氢炉中烧结(1 ℃，保温10分钟)，制成镍海绵粗化层(见图2)。 图2．腐蚀均匀的阴极基金属(左)和喷涂氧化镍粗化层的阴极基金属(右) 由图中可见，经过喷涂薄薄一层氧化镍涂层起到了粗化阴极基金属 表面的作用。由于氧化镍粉很细，得到的均匀涂层与腐蚀均匀的阴极基 金属表面几乎一致。 2．2．碳酸盐涂层的制备： 2．2．1．将碳酸盐涂料球磨半小时，使涂料均匀分散。 2．2．2．用喷枪将碳酸盐涂料均匀喷涂在具有氧化镍粗化层的阴极基金属 上，直到满足重量要求。 2．2．3．用绸布将非发射面上的碳酸盐涂料擦净，制成成品阴极(见图3)。 278 图3．在氧化镍粗化层上喷涂碳酸盐涂料的成品阴极 3．阴极在整管中的应用： 奄 ＼分 l 参 ＼类 技术要求 普通氧化物阴极 工艺改进的阴极 05048掸 ＼≮＼ 05047# 项目N 灯丝电压Uf(V) 6．3 6．3 6．3 灯丝电流If(A) 2．05～2．5 2．4 2．43 阳极耐压U。(KV) 2l 21 2l 阳极电流Ia(mA) (0．5 0 0 栅极负偏压Ug(V) 200 200 200 放大系数“ 175—225 197 197 从表中可见，工艺改进的阴极完全满足整管的电参数要求。 4．结束语： 经过喷涂氧化镍粗化层的工艺改进，不仅获得