动态光电显微镜-光学精密工程.pdf

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第卷第期光学精密工程年月显动态光电微镜杨进堂国院长研长中科学春光学精密机械究所春要介绍了用于检测光学动态光显原光学系学度盘的电徽镜的理统电子系统及瞄准精度态显纹测光脉关键词动光电徽镜线检电冲引言态显态纹一它黑心动光电微镜是动线纹测量中瞄准线的种设备能将线纹的度中转换成沿对精密子和刻进行划误前很徒的脉冲光学尺度盘的线采样测出其刻差态显主要用学测我们研制的动光电微镜来测量光度盘的刻划误差被度盘的刻线被动态电显准而出圆标准器多头多的圆光产生光微镜瞄发脉冲对分度缝读数栅的单位数划误差于测过程态因值为的数

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