微细电解线切割加工模型分析与试验研究-同济大学学报.pdf

第 卷第 期 同济 大 学 学 报自然 科 学 版 年 月 文章编号 微细电解线切割加工模型分析与试验研究 王 昆 朱 荻 同济大学 机械工程学院上海 南京航空航天大学 机电学院江苏 南京 摘要基于电化学原理讨论微细电解线切割加工的机理建 微细加工技术是本世纪最活跃的科学研究方向 立了加工的理论模型得出微米尺度线电极进给速度的理论 之一 金属材料的微细加工有着广泛的发展需求 在 上限 通过电解线切割加工试验分析各种加工参数对加工 某些微器件中为了提高性能或者得到特定性能需 精度的影响规律并加工出缝宽为 左右的微型桨叶结 要采用金属微部件代替硅结构来实现高反射率高 构 试验结果表明微细电解线切割加工技术能为特殊性能 质量密度低电阻率特定强度要求以及特殊形状的 材料的微细加工提供有效的新途径 结构 现有的金属材料微加工技术还存在很大的局 关键词微细电解线切割加工线电极理论模型试验研究 限性不能满足发展的需求发展新的金属材料微细 中图分类号 文献标识码 加工技术是非常重要和迫切的 微细电解加工是基于电化学离子去除原理来微 量溶解工件的技术理论上可以达到 级的加工精 度具有高效低成本与材料硬度无关等原理上的 优势在微细加工方面存在着巨大的