精品第五章1 扫描电子显微镜.pptVIP

* SEM的分辨率高低与检测信号种类有关。 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5～10 50～200 100～1000 100～1000 5～10 各种信号成像分辨率（nm） * 影响分辨率的三大因素：1、电子束束斑大小　2、检测信号类型　3、检测部位原子序数SEM的分辨率是通过测定图象中两个颗粒间的最小距离确定的。 日立s-570：3.5nm * (2)放大倍数 扫描电镜的放大倍数可用表达式 M=AC/AS 式中AC是荧光屏上图像的边长， AS是电子束在样品上的扫描振幅。 90年代后期生产的高级SEM的放大倍数从数倍—80万倍。介于光学显微镜和透射电镜之间。 * （3） 景深 d0分辨率， ?电子束的入射角 景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 扫描电镜的景深为比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深大10 倍。 * * 5、 SEM样品制备  对导电性材料来说，除了几何尺寸和重量外几乎没有任何要求，尺寸和重量对不同型号的扫描电镜的样品室也有不同的要求。对于导电性较差或绝缘的样品若采用常规扫描电镜来观察，则必须通过喷镀金、银等重金属或碳真空蒸镀等手段进