精选椭偏仪sentech.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * SENTECH Instruments 硅太阳能电池薄膜测量的 领导者 * 我们能够测量的材料： 薄膜厚度 折射率 吸收系数 碱法腐蚀/酸法腐蚀多晶硅和粗糙表面单晶硅太阳能电池表面AR膜 基于玻璃基底上的多层薄膜的太阳能电池 硅电池表面的SiNx膜 薄膜太阳能电池 Basics * 碱法腐蚀多晶硅太阳能电池 酸法腐蚀多晶硅太阳能电池 粗糙表面单晶硅太阳能电池 我们能够测量的材料： Basics * 硅太阳能电池测量的挑战 宏观粗糙表面使入射偏振光散射非常严重。 反射光强极低，接近探测器噪声的强度。 散射使入射光线部分去偏振。常规椭偏仪只能够测量完全偏振光。 Basics * SENTECH 解决方案 分别针对激光和光谱椭偏仪的高灵敏度探测单元 专用聚焦光学组件 补偿器测量模式和软件能够对测量进行退偏纠正 Basics * 膜厚梯度，散射光线（粗糙表面），聚焦角度，透明基底背板反射等都能够减少光的偏振程度，这就是退偏振效应。 真实偏振状态只能够通过添加补偿器才能测量。 常规椭偏仪的硬件和软件只能够分析从样品表面反射的完全偏振光。它们不能分析部分偏振。 Uwe Richter, Thin Solid Films 313-314 (1998), pp 102-107 ?Applicat