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2012物理与环境部门岗位晋升推荐人员情况-SSRF
SSRF/SINAP
Preparation of nano-periodic
structures based on XIL
Yanqing Wu
On behalf of XIL team @SINAP • SSRF
2017.11.21
提纲
一、XIL技术及上海光源XIL线站介绍
二、基于XIL的纳米周期结构制备技术
三、典型用户成果
上海光源：中能第三代同步辐射光源
上海光源是我国迄今建成的规模最大的大科学装置，由150MeV
电子直线加速器、全能量增强器、3.5GeV储存环、首批7条光
束线站、配套的建筑安装与公用设施等组成，总投资14.3亿。
首期7条光束线站
3.5GeV电子储存
环总长432m
全能量增强器
C=180m
150MeV电子
直线加速器
上海光源总体性能位居国际领先行列
目前上海光源运行的公用光束线站
生物大分子晶体学线站 (17U1)
X射线小角散射线站(16B1)
硬X射线微聚焦及应用线站(15U1)
衍射线站 (14B1)
XAFS线站(14W1)
X射线成像及生物医学应用线站(13W1)
软X射线谱学显微线站(08U1A)
分时使用
软X射线干涉光刻分支线站（08U1B）
软X射线干涉光刻（XIL)技术
多光栅衍射光无色差干涉 只需空间相干光
光栅方程： d•sinq=N•l
双光栅掩膜
双光束干涉： p=l/(2•sinq)
N=1
图形周期
四光栅掩膜
= 2 双光栅掩膜
= 3 三光栅掩膜
= 2 四光栅掩膜
不同纳米图形生成方法比较
电子束刻写 纳米压印 扫描探针刻写 软X射线干涉光刻
分辨率 高 高 高 高
投片率 有限 高 有限 中等
电荷效应
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