石英玻璃基TiO2膜的XPS研讨.pdfVIP

第46卷 化学专刊 武汉大学学报 〔自然科学版) special1-- (I) 2000年3月 WuhanUniv.(na,.SiF, Mar.2000,128- 130 文章编号:0253-9888(2000)SI-0128-03 石英玻璃基Ti02膜的XPS研究 赵青南t，余家国，赵修建 (式汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室，式汉430070) 摘 要:用X射线光电子能谱(XPS)研究了不同热处理工艺条件下用溶胶凝胶法制备的石英玻璃基TiO,膜 的表面组成.根据XPS数据和S.Tanuma.提出的方法研究了膜厚的尺寸变化.结果表明:随着热处理温度的提高 或者热处理时间的延长，TiO,膜厚尺寸逐渐降低，膜表面的Si元素浓度逐渐增加.XPS可以有效地表征出TiO,膜 厚尺寸在 10nm范围内的变化. 关镇词XPS;Tio,0;呼;表面组成