石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研讨.pdfVIP

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  • 2018-01-11 发布于广东
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石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研讨.pdf

仪 器 仪 表 学 报 第 卷 )$# .. 下与薄膜表面接触 并将试样随工作台作水平直线移 石英晶体的密度 石英晶体的刚度系数 ! ? !? @ O . 动 表面形成划痕 当负载增加到 时 出现使薄膜 由弹性力学可知 在 平面内的切应力 为 ! #$ ! % ! 12

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