在多孔硅上外延硅膜的研讨.pdfVIP

·146． 中国太阳能光伏进展 在多孑L硅上外延硅膜的研究 郭敏’张字翔 李红菊 王海燕．陈永生杨仕娥 郜晓勇 李维强 卢景霄 ：． 郑州大学教育部材料物理重点实验室河南郑州450052 【摘要1+固相晶化(sPc)技术制备太阳电池是值得研究的方向。我们用电化学电解的 方法在硅片上制备了多孔硅，在多孔硅上用PECVD设备沉积了非晶硅薄膜，对 非晶硅薄膜在550℃进行了固相品化。用拉曼光谱仪、XRD和扫描电镜等手段 对硅薄膜进行了测试研究。研究表明，在多孔硅上的固相晶化比石英衬底上的 要快，结晶膜中和多孔硅相同的(100)晶向占优，表明多孔硅是很好的作固相 晶化籽晶层的材料。多孔硅还是很好的实现层转移的材料，我们已经利用多孔 硅实现了数cm2薄膜的完整剥离。 【关键词】 多孔硅PECVD硅薄膜拉曼光谱仪 of SiliconFilmsonPorousSili