基于BiCMOS技术高速数字模拟转换器研讨.pdfVIP

2005年I1月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 基于BiCMOS技术高速数字／模拟 转换器研究 刘道广李荣强石建刚何开全刘玉奎谭开州张静杨秋冬钟恰舒曼徐婉静徐世六 (国家模拟集成电路重点实验室，中国电子科技集团电子24所， 重庆400060) 摘 要：本文基于BiCMOS技术，开展了高速数字／模拟转换器研究。以并行输入类型，电 流工作模式的16位D／A转换器位载体，开展了电路设计，工艺制作和测试；在±5．0v工 作电压下，测试得到转换速率≥30MSPS，建立时间50ns，增益误差±8％FSR，积分非线 性误差i／2LSB，功耗500mw。 关键词： 数字／模拟混合电路双极BI／CMOS兼容工艺 1．引言 进入“数字时代”以来，最能代表数字／模拟混合电路发展水平的高速高位A／D、D／A 新结构新技术研究取得重大突破。主要包括∑一△、全并行、折叠式和流水线等A／D新结 构，分段电流源拷贝、同步译码锁存等D／A新结构。研制高速数字／模拟转换器的工艺技 逐步蚕食了以双极工艺为主的模拟集成电路的领域。但在以CMOS技术为主流的VLSI电路 发展中，由于借鉴了高度发展的CMOS电路制备的工艺技术，双极型