氮化钛 薄膜抗腐蚀性研究.ppt

氮化钛薄膜抗腐蚀性研究 薄膜制备抗腐蚀性能研究 氮化钛薄膜简介 TiN 涂层具有优异的物理化学性能具有硬度高耐磨性好摩擦因数小以及良好的化学相容性等优点是目前研究较多的薄膜材料之一 。TiN作为最常见的表面改性机械功能膜已经广泛应用于刀具钻头模具等的表面,改良性能使寿命提高, 因而在许多领域( 特别是表面精饰和刃具的表面改性) 中得到了广泛的应用 氮化钛薄膜在口腔医学上也有很大作用。人造牙呲多采用镍钛合金和镍铬合金，但它们可能引起龋病，牙周病黏膜病等疾病。在其表面镀氮化钛薄膜能改善情况。 薄膜制备 多采用多弧离子镀 多弧离子镀存在问题 多弧离子镀会在膜层中夹带许多液滴, 而且这些液滴会影响膜层的光洁度和附着力等, 但该技术所具有的优越性促使人们改进工艺来减少液滴的密度和尺寸, 从而提高膜层的性能。 实际生产过程中，可采用磁过滤器将金属液滴过滤掉。 缺陷产生原因 电弧离子镀薄膜中的缺陷主要是熔滴孔洞疏松及缝隙等。使用磁过滤器可显著减少这些缺陷从而提高薄膜的综合性能。 因而磁过滤器是今后制备高性能TiN 及其复合膜的一种切实有效的方法若能够提高磁过滤器的效率将有可能在工业生产中得到推广应用 多弧离子镀制备薄膜的影响因素 多弧离子镀制备TiN膜的质量主要取决于弧斑的运行、偏压、弧电流以及氮气流量的大小, 控制好这些参数, 就可到得性能最佳的TiN 膜。 盐雾试验 采用盐雾试验，研究氮化