MEMS陀螺仪发展综述及技术研究PPT.pptVIP

* 微机构陀螺可以从以下几个方面进行划分：振动结构，材料，加工方式，驱动方式，检测方式和工作模式。 微机械陀螺分类 按驱动方式 按检测方式 压电式 静电式 电磁式 压电检测 电容检测 压阻式检测 光学检测 隧道效应检测 按工作模式 速率陀螺 速率积分陀螺 闭环模式 开环模式 全角模式 2.2 MEMS陀螺仪分类及结构 技术指标 电容式 压电式 压阻式 隧道效应式 光学 阻抗 高 高 低 高 \ 电负载影响 非常大 大 小 小 小 尺寸 大 小 中等 小 大 温度范围 非常宽 宽 中等 中等 宽 线性度误差 高 中等 低 高 低 有无阻尼 有 无 有 有 无 灵敏度 高 中等 中等 高 很高 电路复杂程度 高 中等 低 高 高 成本 高 高 低 中 高 交叉轴敏感度 主要取决于机械设计，而非转导作用 部分检测方式的MEMS陀螺性能对比 2.2 MEMS陀螺仪分类及结构 * 结构设计方法 结构设计相关内容 作用：进行结果的相互对比、验证与校核 2.3 MEMS陀螺仪设计流程及工具 * 有限元软件 静态分析 优化设计 模态分析 瞬态分析 谐响应分析 结构应力 结构参数 哥氏效应 振动幅值 限位位移 振型和频率 敏感器件位置 路径分析 2.3 MEMS陀螺仪设计流程及工具 常用的有限元软件：ANSYS、COMSOL 3.1 MEMS陀螺仪设计流程及工具 结构 设计 灵