氧化镓纳米棒的超声法制备及湿敏特性研究.PDFVIP

第34 卷 第12期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.34 No.12 2015 年12 月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS Dec. 2015 研 究 与 试 制 氧化镓纳米棒的超声法制备及湿敏特性研究 娄彦龙，王 丁，王朋朋，郑学军 （上海理工大学 材料科学与工程学院，上海 200093） 摘要: 以商业氮化镓(GaN)粉末为原料，经简单超声辅助的方法成功制备出氧化镓(Ga O )纳米棒。通过 X 射线 2 3 衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和透射电子显微镜(TEM)等对其结构、形貌及成分进行表征分析。结果表明： 材料为纳米棒状多孔结构，直径和长度范围分别在 100 nm 和 2 μm 左右，并且 Na+ + 和 K 被成功地掺杂。湿敏材料旋 涂在预先涂覆有Ag-Pd 叉指电极的Al O 陶瓷基片上制作成湿敏测试元件。对其湿敏性能进行测试，结果表明：Ga O 2 3 2 3 纳米棒传感器的阻抗随着湿度的变化曲线表现出良好的线性响应和稳定性，在 100 Hz 频率下，当环境中的相对湿 度(RH)从 11%到 95%变化时，该湿度传感器阻抗变化超过四个数量级，响应和恢复时间分别为 1 s 和 6 s ，其最大湿 滞为 3%RH。优异的湿敏特性可能源于一维 Ga2O3 纳米结构和离子掺杂的协同效应。 关键词: Ga2O3 纳米棒；湿度传感器；离子掺杂；GaN 粉末；超声合成；湿敏特性 doi: 10.14106/ki.1001-2028.2015.12.004 中图分类号: TB943 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2015 ）12-0014-06 Humidity sensor based on Ga O nanorods prepared by 2 3 ultrasonic assistance LOU Yanlong, WANG Ding, WANG Pengpeng, ZHENG Xuejun (School of Materials Science and Engineering, University of Shanghai for Science Technology, Shanghai 200093, China) Abstract: Ga O nanorods were prepared from commercial GaN powder via a simple ultrasonic assistance method, 2 3 and the