硅纳米线氧化钒纳米棒复合材料的制备与气敏性能研究.PDF

硅纳米线/氧化钒纳米棒复合材料的制备与气敏性能研究 张玮祎 胡明 刘星 李娜 闫文君 Synthesisandgas-sensingpropertiesofthesiliconnanowires/vanadium oxide nanorods composite ZhangWei-Yi HuMing LiuXing LiNa YanWen-Jun 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,090701(2016) DOI: 10.7498/aps.65.090701 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.090701 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I9 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 顶栅石墨烯离子敏场效应管的表征及其初步应用 Improvementandapplicationoftop-gatedgrapheneion-sensitive field effecttransistors 物理学报.2016,65(8): 080701 /10.7498/aps.65.080701 基于中红外量子级联激光器和石英增强光声光谱的CO超高灵敏度检测研究 Researchonhighsensitivitydetectionofcarbonmonoxidebasedonquantumcascadelaserandquartz- enhancedphotoacousticspectroscopy 物理学报.2016,65(6): 060701 /10.7498/aps.65.060701 基于电学调制相消法和高功率蓝光LD 的离轴石英增强光声光谱NO 传感器设计和优化 Design and optimization of off-beam NO QEPAS sensor by use of E-MOCAM with a high power blue laserdiode 物理学报.2015,64(13): 130701 /10.7498/aps.64.130701 分时偏振成像系统中光束偏离的补偿方法研究 Studyoncompensationmethodofbeamdeviationindivision of time imagingpolarimetry 物理学报.2015,64(6): 060701 /10.7498/aps.64.060701 基于椭球封闭空气腔的光纤复合法布里-珀罗结构折射率传感特性研究 Refractive index sensing characteristic of a hybrid-Fabry-Péot interferometer based on an in-fiber ellip- soidalcavity 物理学报.2014,63(24): 240701 /10.7498/aps.63.240701 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 9 (2016) 090701 硅纳米线/氧化钒纳米棒复合材料的制备 与气敏性能研究 刘星 李娜 闫文君 张玮祎 胡明 (天津大学电子信息工程学院, 天津 300072) ( 2015 年11 月7 日收到; 2016 年2 月2 日收到修改稿) 采用纳米球光刻和金属辅助刻蚀法以p 型单晶硅片制备了硅纳米线阵列, 并以此作为基底, 通过溅射不 同时长的金属钒薄膜并进行热退火氧化处理, 制备出硅纳米线/氧化钒纳米棒复合材料. 采用扫描电子显微镜 和X 射线衍射仪表征了该复合材料的微观特性, 结果表明该结构增大了材料的比表面积, 有利于气体传感, 并且镀膜时间对后续生长的氧化钒纳米棒形貌有明显影响. 采用静态配气法在室温下测试了该复合材料对 NO 的气敏性能, 气敏测试结果表明沉积钒膜的时间对复合材料的气敏性能影响较大. 当