物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测研究.pdfVIP

2006 2006年7月 润滑与密封 July LUBRICATIONENGINEEmNG 第7期(总第179期) No．7(serialNo．179) 物理气相沉积TiN薄膜疲劳磨损形貌的AFM观测 高玉周张会臣王亮 (大连海事大学机电与材料工程学院辽宁大连I16026) 摘要：采用物理气相沉积工艺在高速钢表面沉积TiN薄膜，研究了TiN薄膜的疲劳磨损过程。采用原子力显微镜 (AFM)观测分析了表面疲劳点蚀的形貌特征。试验结果表明：较厚TiN薄膜具有较低的疲劳磨损寿命，而较薄的TiN 膜层具有较高的疲劳磨损寿命。在试验的初始阶段，磨损轨迹上都出现大量显微凹坑，AFM观测分析可知显微凹坑起 源于薄膜表面，呈菱形状。随试验的进