SiO2碳热还原法制备Si3N4SiC的固相反应机理.pdfVIP

Sioz碳热还原法创备Si,N,/SiC的固相反应机理/刘 雁等 .2-15. Sio,碳热还原法制备SI,.N,/SIC的固相反应机理 刘 雁 潘 伟 吴月顺， 陈 健 (清华大学新型脚瓷与精细工艺国家重点实脸室，名京 100084;青岛大掌师范学院化学系》 摘奥 Sto,/C体系在氏气气氛下1573^1973K盈度范圈内反应所得的产物为.-Si,N,加 P-S,c.i 高的反应S. 度、高的升注迫率以及原杆破的过1均有刹于sic岭生成。反应过在可分为三个阶吸，产物分别为sio气休S·i,N和 sic，表砚活化能分别Yo470kJ/-1,467k1/mol和484kJ/mol.v14t千沮热宜分析为主要卖检方法 时SiO,/C体系在流 动的氮气中的反应机理进行了研览，探讨了休东回相反应所怪历的步欣，确定了控速环节和动力学参数. 关镇询 SiO2破热还原 固相反应 用法国SETARAM公司的TFDTA92B型热分析仪对混合粉 0 引宫