基于遗传算法的柱面光栅测角技术研究Studyoncylindricalgrating.PDFVIP

基于遗传算法的柱面光栅测角技术研究 1 1 1,2 1 1 劳达宝 周维虎 李万红 石冬 林心龙 （1.中国科学院光电研究院，北京，100094； 2.合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，安徽合肥 230009） 摘要：高精度角度测量装置是保证旋转设备精度和性能的关键，广泛应用于测量跟踪仪器中，特别是对于 大尺寸坐标测量仪器，测角相比于测距是制约坐标测量的瓶颈。在精密一维轴系平台上，采用高精度柱面 光栅及四个读数头构建测角装置，对传感器自身、安装误差及轴系跳动等因素对测角精度的影响进行了详 细分析。基于角度测量标准器标定角度测量误差，对误差数据进行谐波分析。基于遗传算法提出了一种参 数优化方法，建立误差补偿模型，对测角误差进行了补偿。实验结果显示，补偿后