掠出射X射线荧光分析技术与掠入射X射线荧光分析技术-光学精密工程.PDFVIP

第 12 卷 　第 2 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 2 2004 年 4 月 　　 　　　　　　 　　　　　　Optics and Precision Engineering 　 　 　 　 　 　 　 　　Apr . 2004 　　　　 　 ( ) 文章编号 　1004924X 2004 掠出射 X 射线荧光分析技术与 掠入射 X 射线荧光分析技术 陈雪亮 , 巩 　岩 , 陈　波 ( 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 , 吉林 长春 130033) ( ) ( ) 摘要 :依据工作原理 , 比较了掠出射 X 射线荧光分析技术 GEXRF 和掠入射 X 射线荧光分析技术 GIXRF 的优缺点 , 比 较角度包括实验装置 、探测限、可探测元素范围、基体效应以及实验精度 。比较结果表明 , GEXRF 的优点体现为 :对实验 装置要求低 ,对轻元素 ( ) 特别灵敏 ,能对大样品进行检测 ,实验精度高 ;缺点体现为 :临界厚度小 ,探测限高 。 4 Z 20 “对轻元素特别灵敏”的特点决定了 GEXRF 的应用领域将主要集中在化学元素微量和痕量分析以及半导体工业中 Si 薄 膜表面轻元素检测等方面 。 关 　键 　词 :X 射线荧光分析 ; 掠出射 ;掠入射 中图分类号 :TH744 . 16 　　文献标识码 :A Comparison of grazing incidence and grazing emission Xray fluorescence analysis technologies CHEN Xueliang , GON G Yan , CHEN Bo ( Changchun Institute of Op tics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033 , China) Abstract : The grazing emission Xray fluorescence ( GEXRF) technology is compared with the grazing incidence X ray fluorescence ( GIXRF) technology in terms of experimental set - up detection limit , range of elements accessi ble , matrix effect and accuracy . The results of comparison demonstrate that while it has the disadvantages of higher detection limitation and thinner critical thickness , GEXRF has the advantages of lower requirements for experimental (