建立分析平坦化过程中不平整度的计算模型-昆山科技大学eportfolio.pdf

中國機械工程學會第二十一屆全國學術研討會論文集 中華民國九十三年十一月二十六日、二十七日 國立中山大學 高雄‧臺灣 建立分析平坦化過程中不平整度的計算模型 1 2 3 洪興林 吳紹宇 林育陞 1,2,3 崑山科技大學 機械工程系 摘要 以研究。陳政佑 [9]探討拋光墊表面的平坦度對於晶圓 表面以及各晶圓表面平坦程度之差異的影響。簡志偉 研磨技術是現今機械加工之重要課題之一。為了 [10]於平面研光路徑分析中指出，電腦模擬與實驗證 維持加工的品質；在平坦化過程中，分析其表面不平 明碎形路徑對於工件的平坦度較一般傳統行星式路 整度 (N.u.)是必要的工作。本文主要的目的是針對不 徑佳。 同的加工參數，握持器的修整力、握持器的轉速及握 本研究的主要目的是針對不同的加工參數，握持 持器的平移速加以研究並比較其結果。應用既有分析 器的修整力、握持器的轉速及握持器的平移速加以研 平坦化過程中拋除量的計算模型，計算其表面不平整 究並比較其結果。應用既有分析平坦化過程中拋除量 度；不平整度計算是應用拋光墊之移除深度及統計學 的計算模型，計算其表面不平整度；不平整度計算是 的計算方法。結果顯示出使用較大的修整力並將握持 應用拋光墊之移除深度及統計學的計算方法。 器和拋光墊轉速調成接近及適度的使握持器具有平 移速度似乎是最佳的平坦化加工條件，因為如此做， 即可保有較小之表面不平整度 (N.u.) 。 2. 平坦化的機制 圖 1 為拋光墊平坦化的加工機制。修整器主要 關鍵字：平坦化，拋除深度，不平整度 的目的是引導鑽石顆粒於拋光墊上做磨削，握持器可 以把修整的力量平均地應用於修整器上。 1. 前言 為了確保加工的品質，分析其表面不平整度(N.u.) 3. 平坦化過程中拋除深度及不平整度的計算 是必要的工作；在平坦化過程中修整所需的時間、效 3.1 拋除深度的計算 率、鑽石修整輪的磨耗，對材料表面