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亚微米pzt阵列制备及铁电性能研究-中国科技论文在线
中国科技论文在线
E :
2007 37 1 : 1~6
SCIENCE IN CHINA PRESS
PZT
*
(, 710048)
(, 710068)
-, ITO/ PZT
. , He-Cd
, 600 , 15 min ,
1 µm, 480 nm×480 nm×40 nm PZT .
(AFM), ,
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, PZT ,
.
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64 M 4 G , 1 µm2
[1]. , ,
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.
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, : FIB(focussed ion beam mill-
: 2006-04-24; : 2006-08-22
(: 2003CCA03300)(:
* E-mail: zhaogy@
转载
中国科技论文在线
2 E 37
ing)EBDW (electron beam direct writing)NIL(nano imprint
lithography) Sol-Gel , Ganpule Tiedke [2,3] FIB
200 nm PZT , Alexe [1] EBDW 100~300 nm PZT
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