电弧离子镀复合薄膜TixNb1xN的结构、组织及其滑动磨损性能研究.pdfVIP

铸 晚 Vol.49 14o.S1 614 . 夔 YO:UND 1丫 Sept2000 电弧离子镀复合薄膜 (TixNb;一、)N的结构、组织 及其滑动磨损性能 高玉周1，周丈龙2，徐久军1，严 立1 (1.大连海事大李金属材并及工艺研充所，辽宁大连116026;2.大连理工大学材并来，辽宁大连116026) 摘要:采用电弧离子俊工艺在高速钢墓体上沉积不同丁i/Nb比率的 (TixNbl_,)N硬质薄膜。研究表明:r,Nb卜二) N膜层主要由(Ti,Nbr一二)N的立方面心结构组成，(几Nb卜二)N膜层具有良好的结合力;在x=0.45时，膜层的呈 橄硬度达到最大值，同时其清动磨损能力较差;膜层的硬度不是决定膜层李擦磨执性能的主要因素。 ANA:}itp6}4t;i(r,Nb)Nr,,f*动磨损 中圈分英号:TG142，45;TG174.444,文献标识码:A 文章幼号:1001-4977(2000)501-0614-03 、 Crystallographic,MorphologicalCharacterizationandTheirSlidingWear Propertiesof(TixNbl一:)NCoatingsbyMulti-arcIonPlating GAOYu-zhoul,ZHOUWen-long,XUJiu-jun,YANLil (l.InstituteofMetalandTechnology,DalianMaritimeUniversity,Dalian116026,Liaoning,China 2.MaterialsDepartment,DalianUniversityofTechnology,Dalian116026,Liaoning,China) Absrtact;Homogenous(Ti,Nb;一、)NcoatingswithdifferentatomicratiosofTi:Nbweredepositedonthe substrateofhighspeedsteel(HSS)bymulti-arcplatinginthispaper.Theircrystallographiccharacterize- tionandcompositionswereinvestigated，micr-ohardness,cohesionandslidingwearpropertieswerealso studied.(TixNbr一:)Ncoatingsmainlyconsistedofface-centercubicTiN.(TixNbl一二)Ncoatingsatx= 0.45wasuptotheirmaximumhardness,inthesametimepossesseditslowerslidingwearproperties.It showedthatcoatinghardnessisnotthemainfactortoimprovethetribologicalpropertyofthe(Ti,Nbt一:) Ncoatings. Keywor山:arcionplating;(Ti,NON;slidingwear 氮化物膜层材料在工业中得到了广泛的应用，在许多表 典型的膜层沉积工艺参数为:沉积偏压Ve=一300V,墓 面过怪的应用中提高抗磨报性能，延长刀具和机器零件的服 体沉积泪度T,-400t，工作气体压力PN.n,一3.6x10-P. 投期限m，但是膜层的硬度还不够高。研究发现在膜层中加 LZ滑动，份试验 入另一种元素。采用类似的多层膜中位错在膜层界面的阻碍 采用NII4200摩擦磨损试拉机;上试样尺寸为12- x12- 作用的概念设计双相结构腆层.形成多组元复合膜，具有较