水力直径对硅微通道中冷凝的影响研究.pdfVIP

中固工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：063162 ‘水力直径对硅微通道中冷凝的影响 EPeterson2 陈永平1，JiLi2，G 1东南人学能源Lj环境学院，南京210096 2Rensselaer PolytechnicInstitute．Troy,NYl2180,USA TelE-mail：ypchen(凇e11．edu．cn 1引言 有限的现有研究表明[1-3]，微小通道中流动冷凝的一个重要特征即是流动的不稳定 性，这一特征在通道尺度为微米级时尤为明显，微通道的几何尺度对于流动冷凝的流型、 热效率以及压降的影响机理成为当前微通道内冷凝研究中的最重要问题之一。因此，在本 文的研究中，分别对水力直径为250mm和100mm的三角形硅微通道中冷凝进行了可视化 研究，以用于探讨水力直径对微通道中冷凝的影响。 2冷凝芯片与实验设备 晶片上。然后将一片厚度为5009m的Pyrex7740型耐热玻璃键合在晶片的上表面，用 以封闭流道。流道侧面倾角为54．7。，上宽分别为4831xm和193I．tm。 电力供应 图1实验设各图 623 图1为实验设备图，实验设备包括蒸汽锅炉(MBA9)，蒸馏水箱，数据采集装置 的高流冷却液通过泵循环流过该冷却槽。冷凝流型由一部最高倍率为．500X的显微镜 ’ · ● (OlympusBXFMF)和最大拍摄速度为2000fps的高速摄像机拍摄。 3实验结果与讨论 3．1D=250Ftm 120℃、使月j．5℃高速冷却液冷却时，实验测得其沿程冷凝流型图为珠状／环状／喷射状／弹状 胞状。图2所示为该工况下近入口(x／L=0．05)处的冷凝过程。由图可见，在入口处硅通 道的表面存在着稳定的珠状冷凝，又因为通道截面为三角形，于是在底角处存在一清晰的 冷凝液细流。这就证明，三角形通道中的细角能起到冷凝核心的作用，故冷凝液细流首先 在通道角落部位产生。如图3所示，沿蒸汽冷凝流程，在x／L=0．25处，开始出现稳定的环 状流。在此环状流型中，水蒸汽沿通道中心高速流动，而液体则以相对较慢的速率沿壁面 流动。图4为通道中部，x／L=0．5处的冷凝过程，由图可见，该位置为周册陛的喷射状流 型。在该流型中，环状流的顶端呈子弹状开始周期性的喷射脱离。从影像来看，脱离的频 率是一定的，在该工况下，其喷射周期大致为0．072s。因此，我们可以这样推测，微通道 中的冷凝是一个不稳定的过程，或者说是一个运动变化的过程，同时，该过程的不稳定性 可能又具有一定的周期性，但是现在仍没有完全充足的证据来证明此结论。在图5中所示 的下游管段，即x／L=0．7处，’出现由上游喷射流产生的高流速弹状流型；如图6所示，随 着冷凝的进行，在接近出口，即x／L=0．9处，蒸汽弹缩小成一个标准的球形汽泡，这也再 次证明了表面张力在微通道中成为了主要作用力。如果除去冷却水槽，而仅靠空气自然对 流来冷却芯片，即低热流冷却边界条件下，上游(0x／L0．5)将变为珠状流，下游 (O．5x／L1)变成稳定的环状流，其图像见图7、图轧． 3．2D=100Itm 在100pro的微通道中，进行了同样工况的冷凝实验。进口蒸气仍为200KPa(绝对压力)， 对应饱和温度120℃，利用．5C冷却液高速循环冷却。在此更为微小的通道中，环状、喷 微通道不同的是，100lxm管中近入口端出现的是环状流，而不是珠状流。引起这一现象的 的通道表面上的热流密度，应远大予D=2509m管中的情况。另一个原因则是在较小的通 道中，表面张力的作用更为明显，环状流则更易于形成。如图10所示，在管道流程中部， 的通道中观测到的周期，‘亦即是说其喷射频