圆柱状模具..极..微结构实.ppt

研究動機 市場需求方面 研究動機 市場需求方面 研究背景 滾製加工 研究背景 精密車削 同心圓 反轉成形加工 同心圓 反轉成形加工結果 * * 5.動液壓軸承模具製作技術 可分為兩種形式：1.軸 2.軸承環 軸 軸承環 動液壓軸承介紹 動液壓流體軸承之原理 動液壓軸承溝槽作用原理 流體集中於內部 達到防漏的功能 流體軸承精度、噪音及壽命特性較佳 主軸 動壓軸承 動壓溝槽 主軸旋 轉方向 潤滑流體 軸承間隙 市場需求方面 動 壓 軸 承 FA機械 產業機械 汽車相關電裝置 錄放影機 FDD主軸 冷卻用風扇 醫療用各種機械 硬碟主軸 市場主流 摘錄於 矢野經濟研究所之報告 研究動機 摘錄於 DM 2002.7 no574 動液壓軸承的優點： 1. 無材料表面接觸 2.低噪音 3.高轉速 4.長壽命 5.耐衝擊性高6.穩定性高，非週期性偏擺(NRRO)少 流體軸承精度、噪音及壽命特性較佳 滾珠軸承震 動、噪音較大 特性＼軸承 迴轉精度 滾珠軸承 振動噪音 壽命 中 佳 大 小 中 佳 動壓軸承 微結構製作方面 微結構製程 蝕刻(Etching) 薄膜技術(Thin Film) LIGA技術 機械加工 精密車削 粉末燒結 微放電加工+電磁成形 滾製加工 研究背景 缺點：微結構模板的製作、機器結構壽命、加工速度慢、成本高 Cheever的US6108909的專利 壓 力 調 節 器 上模 下模 齊藤浩昭等人動壓流體軸受とその 應用技術 缺點：特殊刀具製作成本高、機台主軸精度要求高 、 成本高、加工效率低 研究背景 粉末燒結 日本NTN之魚骨形動液壓軸承微結構 連通道 P＝0.25mm D＝0.1mm SONEY公司 粉末燒結之動液壓軸承實體圖 缺點：成本高、加工效率低、良率低 製作方面可分為 1.傳統式 反轉成形 ?2.同心圓 反轉成形 反轉成形 傳統式 反轉成形加工示意圖 圓柱狀模具 平板式 二次電極 第 四 軸 人字形微結構實體圖 d1 線切割軌跡錯位 ◆ 微結構模具設計製作 ◆ 微結構模具設計製作 魚骨形微結構實體圖 線割導孔加工位不正確置 過切現象 d1 d2 d3 人字形微結構模具圖 放大圖 d1 d3 d4 d5 人字形微結構 端面圖 同心圓 放電加工模式實體圖 圓環式二次電極 成形模具 同心圓 反轉成形加工示意圖 圓環式二次電極 同心圓加工軌跡 成形模具 圓環式二次電極實體圖 反轉成形微模具實體圖 *