矩形硅微通道环状冷凝的数值模拟研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：073170 矩形硅微通道环状冷凝的数值模拟 吴嘉峰陈永平施明恒肖春梅张程宾 东南大学能源与环境学院南京210096 118 794526—8 联系电话：025．83 E—mail：!地些i@s盟：曼鱼塑：鱼垒 摘要：本文以矩形截面为例，在恒热流边界条件下，建立了一套微通道内环状冷凝过程的一维稳态模 型并进行了数值计算，并将之与正三角形中的冷凝过程进行了比较。结果显示，在不同截面的硅微通 道中，液相毛细半径和流速的沿程变化趋势都是相似的。同条件下，矩形通道的冷凝段长度大于正三 角形通道的冷凝段长度，矩形长、短边长比在不火于1。25时对冷凝段长度的影响则不显著。此外，在 正方形截砸的微通道中，接触角和通道热流密度越小或者通道水力直径和入目蒸汽压力越大时，则冷 凝段长度越长。 关键字：微通道，冷凝，稳态，数值模拟 O引言 借助先进的微电子机械(MEMs)技术，可以方便地用蚀刻方法在硅片上加工出水 力直径小于lmm的微小换热通道以强化换热。在这样的微小尺度下，表面张力是流动 冷凝过程的重要作用力，重力和浮力等体积力作用与之相比都可以忽略【1】。 目前，硅微通道流动冷凝研究尚未充分展开i2J。流动冷凝过程的理论研究则更为滞 后。描述喷射流等非稳态流型的理论模型还未见报道，环状冷凝过程的稳态模型则大多用 于分析0．5mm以上的微小通道内冷凝特性，很少应用到100微米级尺度。 通过不同的蚀刻方法，硅微通道有三角形，矩形和梯形等多种截面形状，本文则针 对恒热流边界条件下，矩形硅微通道中的环状冷凝过程进行了_维数值模拟研究。¨ 1模型 1．1模型基本假设 在硅微通道的冷凝过程中，冷凝液由于表面张力的作用主要集中分布在通道的角 上，角与角之间的液膜厚度很薄，在流动计算中可忽略不计【3】。’如果微通道的各个角都 相等，则在忽略了重力和浮力之后，冷凝液在各角中的流动是对称的，角与角之间的冷 凝液没有相互影响，模型可以简化为沿轴向的～维稳态模型。正三角形和矩形硅微通道 (或与它们截面近似的通道》的各角满足相等条件，可由一维稳态模型描述。本文主要 以矩形截面通道为研究对象，正三角型通道中的一维稳态模型则参见文献【4】。 1．2模型推导 冷凝过程气相区满足动量方程： d(p，v：彳。)=一爿，咖。一s。f，出 l181 液相区则满足动量方程： ～爿，咖，+rwc翻v，一f伽c以舢+Vvc蛔，=d(埘jv』) (2) 式中，风，v，，p，，彳，，s，．和f。分另4代表气相的密度、流速、压力、截面积、截面 周长和气相受到的摩擦阻力；V，、p，、肼，、爿，、爿w、彳M和r舻f～则分别代表了汇 聚在某角上的液体的流速、压力、质量流量、截面积、与气相的接触面积、与壁面的接 触面积以及气相和壁面对液相的剪切力和摩擦阻力。由于各角对称，网此方程(2)适 用于同一通道所有角。 在恒热流条件下，由式(1)可以得到气相压力p。沿x方向的变化趋势为 胪砌一蔫一高耪蹴卜及)- ㈤ 式中p。o为通道入口的蒸气压力；9和成分别表示热流密度和通道：臂距；办∥和仉分 别表示气化潜热和蒸气黏度；gRe)，为气相Po数；D，为气相当量直径，三表示冷凝计 算段长度。 由于通道中气相压降很小，根据Young．L印1ace方程可得 一 勿『_d(肌一盖)2盖积 (4) 式中仃为气．液表面的表面张力。 由式(2)，(4)可以推导得到 7