单晶生长炉全局热分析2——非定常三维流动的影响.pdf

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号： 073238 单晶生长炉全局热分析水’(2)， 一非定常三维流动的影响 高辉，敬成君，贾琛霞 西南交通大学机械工程学院，邮编：61003l · Tel：028 Email：chen函u11iing@126．com 摘要：本文应用已建立的考虑了熔液对流三维性和非定常性的全局热分析模型，利用大量的数值模拟， 研究了熔液对流三维性和非定常性对熔体流动、炉内温度场分布等影响。研究揭示了熔液内行进波的 存在和其传播规律。同时，研究表明，三维非定常熔液对流将大大降低晶体成长界面发生转变的Re 数，而此结果更接近实际。 关键词：全局热分析，熔体对流，界面反转，行进波 1引言单晶生长是现代信息社会的支柱产业：没有高品质大尺寸的单品，就没有形 形色色功能强大的芯片。拉单晶的主要生长方式为CZ熔液生长法，如图l所示，过程 晶原子结晶到种子晶核(seed)上，晶核不断长大从而生成棒状单晶。单结晶的品质与结 晶成长时炉内的流动、传热传质等输运现象密切相关·因此，为了结晶的高品质和大尺 寸化，正确把握成长炉内的所有现象是非常必要的。将炉内的所有构成要素全部考虑的 流动、传热传质分析称为全局热分析。由于高温辐射和熔体热对流等传输现象使炉内的 传输现象相互耦合、错综复杂，因此，为了便于处理，迄今为止，分析整个生长炉内的 传输现象的全局 热分析模型一直 停留在传统的轴 对称准静态模型 的假定上[1]。然 而，随着单结晶 的大口径化，由 于对流的强度与 单结晶直径的三 次方成正比，熔 鋈皇曾登翌鎏：：= 图，c：生长炉 图2自由表面流祥 一‘一～… 般不是轴对称准 静态，通常是三维的和非定常的(图2)。因此，弄清熔液对流的三维性和非定常性对全 局热分析的影响是重要和必要的。本研究重点探讨非定常、三维的熔液热对流以及它对 全局热分析影响。 +国家自然科学基金资助项目 1284 2问题描述 图3为本文Cz生长炉物理模型，它来自生长LiNb03晶体的实验装置。LiNb03晶 数据见图3。描写炉内全局热分析的数学模型及计算方法参见前面报告。结合Li№O。熔 体的热物性，n和Gr分别是13．6和4．67×105。这里主要报告计算的结果。 藜霉奴寨橡擎％囊爨． 瓣《瓣糕蕊黎嗣豪笋辫 轴对称定态梗型___兰维非定常模型 3结果 一毹赢渔主赢。0溢， 以晶体旋转Reyn01ds数船为控制参数进行了大量 计算，结果表明：当尺e250时，熔体热对流是轴对称的和定态的。当尺痧250时，熔体 热对流开始向三维非定态流动过渡，本文模型所得结果开始偏离传统轴对称准静态全局 热分析模型。随着船的增加，偏离变得显著。下面报告尺P_300和心=400时的流动状 况。 3．1 RP=300时的流 动及全局热分 ’ 析 在尺P=．300 时，计算表明： 熔体热对流是 三维的和非定 常性的。整个炉 内的温度分布 (为了清晰，仅 表示熔体和晶 体周围部分)如 图5右边部分。 为了显示熔体 热对流的三维 性和非定常性 图6流动图样和温度努布(R七-300) 1285 的影响，在图5中也表示了不把熔体热对流考虑成实际非定常三维流动，两假定成轴对 称准定态传统模型的结果，经过～个水平反转表示在图的左边。从图5，我们可以清楚 地看到，两个模型预测的炉内温度分布是不同的，仔