传感器原理及应用-6PPT.pptVIP

第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;§6-1 压电效应; a.石英晶体 石英是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性好。在20℃～200℃范围内，温度每升高1℃，压电系数仅减少0.016％。但是当到573℃时，压电特性完全失去，这就是它的居里点。 ;b.压电陶瓷 1、? 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1：1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 它具有很高的介电常数和较大的压电系数（约为石英晶体的50倍）。不足之处是居里温度低（120℃），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。;c. 压电半导体 1968年出现了多种压电半导体材料，如硫化锌、碲化镉、氧化锌、硫化镉、碲化锌和砷化镓等。 特点：既有压电特性，又有半导体性质，因此，可研制压电传感器，也可制作半导体电子器件，还可将二者结合，研制新型集成压电传感器。这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，还可测温度等参数。;d.高分子压电材料 高分子压电薄膜：是某些高分子聚合物经延展和拉伸以及电场极化后具有压电性能的材料，如聚偏二氟乙烯。 优点：耐冲击、不易破碎、稳定性好、频带宽。 高分子压电陶瓷薄膜：是在高分子化合物中加入压电陶瓷粉末制成的，这种复合材料保持了高分子压电陶瓷薄膜的柔软性，又具有较高的压电系数。 ;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器; Z 轴为光轴（中性轴），它是晶体的对称轴，光线沿Z轴通过晶体不产生双折射现象，因而它的贡献是作为基准轴。 X 轴为电轴（垂直于光轴），该轴压电效应最显著，它通过正六棱柱相对的两个棱线且垂直于光轴Z，显然X轴共有三个。 Y 轴为机械轴（力轴），显然也有三个，它垂直于两个相对的表面，在此轴上加力产生的变形最大。;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;二、压电陶瓷的压电效应 ;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;高分子压电薄膜;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器; 由压电常数矩阵还可以知道，压电元件承受机械应力作用时，有哪几种变形方式具有能量转换作用。 3）石英晶体通过dij的四种基本变形方式可将机械能转换为电能。 (a) 厚度变形，通过d11产生x方向的纵向压电效应； (b) 长度变形，通过d12产生y方向的横向压电效应； (c) 面剪切变形，晶体受剪切面与产生电荷的面共面。 如：对x切晶片，当x面（即yz平面）上作用剪切应力时，通过d14在此同一面上产生电荷。对于y切晶片，通过d25可在y面（即zx平面）产生面剪切式能量转换。 (d) 厚度剪切变形，晶体受剪切面与产生电荷不共面，如y切晶片，当z面（即xy平面）上作用有剪切应力时，通过d26在y面（即zx平面）上产生电荷。;第六章 压电式传感器;石英晶体与压电陶瓷的比较;压电材料的主要性能指标;压电元件的结构形式; 在以上两种联接方式中，并联接法输出电荷大，本身电容大，因此时间常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量作为输出的场合。串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以电压作为输出量以及测量电路输入阻抗很高的场合。;压电式传感器的等效电路;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;第六章 压电式传感器;;结论： （1）当ω＝0（作用在压电元件上的力是静态力），则放大器输入电压等于零，这意味着电荷被泄漏，从原理上这时压电传感器不能测静态量； （2）当 ，可近似看作放大器输入电压与作用力的频率无关，（被测物理量变化频率越高越能满足上述条件），可见压电式传感器高频响应非常好。 （3）为扩大低频响应范围，必须尽量提高回路的时间常数，但不能提高电容，否则电压灵敏度会下降，因此只能提高电阻。主要取决于前置放大器的输入电阻，放大器输入电阻越大，测量回路的时间常数越大，传感器的低频响应越好。 电压放大器电路简单，元器件少、价格便宜、工作可靠，但电缆长度不能长，增加电缆长度会降低传感器的电压灵敏度，而且不能随便更换出厂时规定的电缆，一旦更换电缆，必须重新校正灵敏度，否则将引起测量误差。 ;第六章 压电式传感器;第六章 压电