非晶硅室温微测辐射热计的研制研究.pdfVIP

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2018-01-05 发布于广东
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非晶硅室温微测辐射热计的研制研究.pdf

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二oO六年全国光电技术学术交流搠论文集(F) 非晶硅室温微测辐射热计的研制刘兴明，韩琳，刘理天 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘要：将聚酰亚胺作为绝热材料，对传统室温微测辐射热计结构进行了改进，成功制备了非晶硅室温微测辐射热计并进行了测试．以聚合物材料作为绝热材料，避免了表面牺牲层工艺和体加工技术，从而大大降低了成本、提高了成品率。在传统探测器结构基础上，在底部制备一层金属用作红外反射层，利用吸收层可以对红外辐射进行二次吸收．金属层和有源层间的隔离层对红外也有很好的吸收效果，由隔离层、有源层和钝化层构成三明治结构，可以显著改善对红外辐射的吸收。文中对器件的制备工艺进行了详细说明并对器件特性进行了测试，测试结果表明，在773K黑体源8—14 kVAV， lain红外辐射下，探测器的响应度最大为26．4 表明器件具有较高的性能。关键词：非晶硅；室温微测辐射热计；聚酰亚胺；三明治结构中图分类号：TN215 文献标识码zA on room microbolometer a-Si：H Study temperature LIU Lin，LIULi-tian Xing—ruing，HAN (Institute 100084，China) ofMicroelectronics，TsinghuaUniversity，Bdjing on asthermal—isolationconventionalroom Abstract：Based material，the polyimide temperature tested of structureis anda-Si：Hroom microbolometerisfabricatedand improved temperature surfacesacrificialandbulk asthermalisolationmaterialdecreases layer micromachiningtechnique，usingpolymer costand ontheconventional bottomreflectivemetal isaddedtoabsorb yield．Based structure，a layer improves infraredradiationtwice．Thesandwichstructureconsistsofthe betweenthemetal unique segregationlayer’located and can theactive further infrared aswell．Atthesame layer,and absorption time，the upperlayers