多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究.pdfVIP

第 1期 中I鼋雹；舛譬q宪隍学瓤 Vo1．9No．1 2014年 2月 JoumalofCAEIT Feb． 2014 doi：10．3969／j．issn．1673—5692．2014．01．021 多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究 王庚林，李宁博，李 飞，刘永敏 (北京市科通 电子继电器总厂有限公司，北京 100041) 摘 要：密封电子元器件在长时间存放后，会存在无法检测的现象。3-超过密封件细漏检测的最长 候检 时间时，应再 次压氦 ，然后进行细检漏 。按现行 的各种规 范的规定，压氦法和预 充氦法再压氦 的条件、程序和判据一般均与首次压氦相 同，但分析表 明，这样可能会使测量漏率判据 出现成倍或 更大的偏差，有时会 出现大漏的漏检和细漏的错判 。推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏 率判据公式，给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间，从而更为便捷准确地解决了长候检 时间下的密封性检测 问题 。 关键词：氦质谱细检漏；多次压氦法；预充氦压氦法；测量漏率判据 ；压氦时长；最长候检时间 中图分类号：TB42 文献标识码 ：A 文章编号：1673-5692(2014)O1．105-06 Helium M assSpectrometricFineLeakDetectionM ethodsResearch forM ulti-PressingHelium M ethodandPressingHelium after PrefillingHelium M ethod WANG Geng-lin，LINing—bo，LIfei，LIU Yong—rain (BeijingKeytoneElectronicRelayCorporationLtd．，Beijing，100041，China) Abstract：Accordingtothespecificationsorcontract，asealedelectroniccomponentmayrequirerepeat— edhelium massspectrometricfine—leaktestsinproduction，deliveryandacceptanceprocess．Thefirstde— teetioncanusepressinghelium methodorprefillinghelium method，butafterlong storage，especially overthelongestdwelltime，theleakratemaynotgetthroughdetectionunlesspressinghelium againbe． forefine—leakdetection。Undertheexistingprovisionsofvariousnorms，theconditions，proceduresand criteriaofthepressinghelium aregenerallythesameaswiththefirstpressurehelium forpressinghelium methodandprefillingmethod．Buttheanalysisshowsthatthismaycausetheleak—ratecriterionlageror multiplieddeviations，sometimestherewillbeamisunderstoodsestoflargeleakoranmisappliedjudg— mentoffineleak．Theformulaofmeasuredleakratecriterionofrthemulti·pressinghelium methodand pressinghelium afterprefillinghelium methodareded