G—M低温泵的工作过程研究与故障分析.pdfVIP

中文摘要 本文系统地研究了低温泵的工作过程．详细地总结了低温泵的在使用过程中虑注意的问题与 解决方案。对低温泵整体结构、氨气压缩机的结构和抽气机理进行了分析，对制冷量、热负载和 切换点进行了计算。根据不同工艺的实际要求和参数设定的要求，对低温泵的热负载、控温、容 量、抽速和再生进行了测试。通过研究表明对大多数工艺，低温泵第一级控温在65K--100K比 较合适，此时第二级处于12K--15K左右，处于低温吸附氢气和氦气的最佳范围内。低温泵系统 的故障主要有：压缩机故障、低温泵故障和再生故障。压缩机故障又分为润滑油泄漏、氦气泄漏、 不能启动和噪音。低温泵故障又分为低温泵不能冷却、低温泵噪音。低温泵故障最常见的是再生 故障又分为完全再生故障和快速再生故障。最后通过3个具体故障诊断实例。详细描述了解决故 障的方法、工具和诊断过程。 关键词：低温泵、冷泵、工作过程、故障分析 ll Abstract Inthisarticletheauthordetail the the of andintroduce studyworkingprocesscryogenicspump of howto the the howtodo onthe trouble applicationpump，includeclearlyprocess shootingproduct． The the author structureof andhelium analysis cryopump mechanism，and compressor，thepumping calculatethe loadandcrossover differenttechnicalneedand refrigeratorability，heat point，Since authortesttheheatload parametersneed，the ability，T1 setting control，pumpcapacity，pumpingspeed andfast showtomostofthetechnicsT1willbesetin T2willbein regen．Thestudy 65K-100K,then itisa to mailmalfunctionof 12K015Kgoodtemperaturecryo—adsorbHydrogen，Helium，The malfunctionand malfunction．The cryopumpsysteminclude，compressormalfunction，cryopumpregen malfunctionincludeoiI cannotrun leak，helium and noise． compressor leak，compressor