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传感器与检测技术精 彩 一 课 主讲 李田泽 简要回顾 前面我们学过的光电传感器有 1光电管 2光电倍增管 3光敏电阻、光敏二极管、光敏三极管 4光电池等 * 光电管、光电倍增管属于光电子发射器件，属外光电效应型 * 光敏电阻属于光电导器件，属内光电效应型 * 光敏二极管、光敏三极管属于光生伏特器件，也属内光电效应型 上述这些传感器的物理基础都是基于光电效应，这节课我们继续介绍另一种基于横向光电效应的高精度的半导体光电位置敏感器件。 半导体光电位置敏感器件及其应用 一、半导体光电位置敏感器件的结构 二、工作原理及特性分析 三、外界参数对器件性能影响 四、信号调理电路的设计 五、应用举例 一、半导体光电位置敏感器件的结构 本部分要点： 1. 半导体光电位置敏感器件简述 2. 光电位置敏感器件特点 3. 一维光电位置敏感器件结构 4. 二维光电位置敏感器件结构 （3)光谱范围宽 一般讲： (1)芯片尺寸： 30mm ; (2)光谱范围（nm）：380-1100 ; (3)峰值响应度（A/w）：典型值:+-20 最大值 :+-70 ; (4)位置测量误差（μm）：±30~±120. （4)处理