聚合物微纳光学器件的纳米压印微复制技术研讨.pdfVIP

全|j!iI第网届塑料光纤、聚合物光予学会议论文集 聚合物微纳光学器件的纳米压印微复制技术研究 刘月明“，张淑琴，张在宣 (中雨计量学院光学与电子科技学院杭州310018) 摘要：纳米压印微复制技术具备模具制备技术的优点，非常适合于各种聚合物类微光学器件的批 量低成本制备，本文首先介绍了聚合物微透镜阵列、聚合物光子晶体薄膜和聚合物光波导等典型微 光器件的纳米压印微复制技术方法，然后重点论述了一种新型聚合物柔性光栅光波导器件的微复制 制备方法，给出TkH应的技术路线和加工工艺方法，进行了具体的试验研究，得到了满意的结果。 关键词： 聚合物；微光器件；纳米压印；微复制 0．引言 纳米压印技术(NIL：Nanoimprint Y Chou教授于1995年提出的，它目前已经成为微细加工技术的一个重要研究方向，应用到纳米微系 统的低成本加工中，并有望成为下一代半导体光刻的替代技术，应用于超大规模光电子集成电路的 生产中¨，引。纳米压印微复制技术主要包括两个环节，一是利用电子束或离子柬光刻技术加工微图 形模具，二是利用加工好的纳米微图形模具在备好的复制材料上压印来进行器件的微复制加工。纳 米压印微复制技术和传统半导体光刻加工思想截然不同，它不是利用光刻胶的光辐照化学特性加工 成型，而是利用模具复制技术的思想，将一块纳米压印模具反复使用，成批加工器件，从而实现微 器件的低成本、成批高效制备加工。纳米压印微复制技术的另一突出优点是突破了传统光刻的加工 分辨率极限，因为它已不再受传统光刻过程中光衍射、光散射以及化学溶剂的影响，目前已报道的 纳米压印微复制技术的加工线宽已可达5am[31。 纳米压印技术经过一卜余年的发展，目前已经成为国内外研究的热点，国内相关研究主要集中在 西安交通大学、上海交通大学、北京大学、中科院电工所、中科院上海微系统所等著名大学和研究 机构，国外主要集中在美国、日本、韩国、新加坡和欧洲等发达国家【4罐】。考虑到纳米压印微复制技 术的特点，非常适合于聚合物类微纳器件的批量制备，如各种微纳生物敏感结构和各种聚合物类微 纳功能单元或阵列器件，目前利用纳米压印微复制技术制备各种微光学器件的报道也越来越多，如： 用于聚合物微透镜阵列、微光波导器件、光子晶体微结构器件、微光栅抗反射膜和微光伏器件的制 备等等【9—11。本文将在介绍聚合物微透镜阵列、聚合物光子晶体薄膜和聚合物光波导器件制备方法 基础上，重点研究一种新型柔性光栅光波导敏感器件的制备方法，分析其中的关键工艺和技术要点， 这种独具特色的高灵敏度检测器件将广泛应用于介入式医用导管或其它类似微弯曲检测场合，从而 产生重要的经济和社会效益。 3 Email：liuym@cjlu．edu．Crl电话：0571 155 仝『目第四坷塑料光纤，聚合物光f学会议硷文集 1 典型聚合物微光学器件的纳米压印微复制方法 1．1微透镜阵列的复制方法 聚合物微透镜阵列广泛应用于光学传感、光学通信、光学互联以及光学信息处理等各利-微光学系 统中．为得到满足系统需要的高质量聚合物微透镜阵列，目前已有多种方法司以利用．比如光刻胶 热流方法、电子束直写方法、质子染直写方法、LIGA方法、聚焦离子柬方法等等，这些方法各具特 色，可以得到高质量的聚合物微透镜阵列。但是在考虑到器件生产效率和生产成本时，纳米压印微 复制技术无疑具备更加明显的技术优势．比如：工艺简单、生产效率高、成本低等。 文献[11]报到了种结合电镀技术的纳米压印微复制透镜阵列的方法。其主要制作工艺流程如 图l所示．最终得到了直径150微米的高质量微透镜阵列。 ”翟写彳面瓯同””鱼 JI luImJIl【I里都裂一1芦鬯凳塑号 匿堑重重圈l吕淼? ’}“模具脱模 [二二二二二二二]1口Slcon帅br 一 b)光刻菔光刻成型