- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
5 结 语 S,YutakaS·et
S,Masakazu a1.[J].Thermo-
[4]Toshiyuki
chimicaActa,2000,352—353;87-90.
通过分析可以看出,目前国内的ITO靶材制备技
[5]张维佳,王天民,麋 碧.[J].稀有金属材料与工程,
术总体上与国际先进水平仍然有很大的差距,但是通
2004.33(5);448—453.
过国内众多企业和科研单位的努力,目前正在飞速发
[6]李晓杰.张越举,王金相.[J].材料科学与工程学报,
展,可以相信,在不久的将来我国ITO靶材产业必将 2004,22(1),12-14.
步入国际先进行业。 1083—1088.
[7]孔伟华.口].无机材料学报,2002.17(5)t
2002,
[8]姚吉升,唐三川,陈坚.[J].真空科学与技术t
参考文献:
22147-50.
VacuumScienceTechnolo-
[1]SudhakarK,MichelB.[J].J [9]大桥健夫,熊原吉一.铟锡氧化物溅射靶[P].CN:
gY。2005,9(3)一1993-1996. 1365398A,2002-8—21.
Solid
0,Masao O,eta1.[J].Thin
[2]Takahisa K,Hideya
Films。2006.503I22-28. (1),60-63.
Ion·
I.Mamoru State
Koichiro1.Tetsuhiko S.[J].Solid
[3]
ofITO
Microstructure
analysis target
XING Wei2,WANG Xiu—qinl,XUEJian-qian91
Peng—feil,XING Zheng—hon91,ZHANG
MaterialResearchInstitute,Luoyang471039,Chinat
(1.LuoyangShip
Normal 464000,China)
of andElectronic University,Xinyang
Physics Engineering,Xinyang
2.College
materialsofinfo
您可能关注的文档
- ISSR标记的原理及其在植物亲缘关系研究中的应用研究.pdf
- ISSI半导体公司产品需求预测和主生产计划的分析和研讨.pdf
- ISSR标记检测云南松茸的遗传多样性研究.pdf
- ISSR技术及其在遗传多样性研究中的应用研究.pdf
- Istanbul+BSS规划研究.pdf
- 道德困境与审计意见购买研究.pdf
- IT 服务外包企业员工间知识共享研讨.pdf
- ITCMMIT建设规划的科学方法论研究.pdf
- 道德能力:构建和谐社会的重要基石研究.pdf
- ITED一种基于链接的主题提取和主题发现系统研究.pdf
- LD抽运全固态连续紫外激光器研究.pdf
- 道法自然和谐共生——浅析道家“天人合一”思想在哈萨克族文化中的体现研究.pdf
- LD端面抽运圆形截面YAGNdYAG复合晶体热效应研究.pdf
- ITQ2分子筛的合成研究.pdf
- ITQ13分子筛的制备、表征与轻烃芳构化催化性能研究.pdf
- 道家的“自然无为”及其管理学的现实意义研究.pdf
- LD热弛豫时间与泵浦光谱效率的改进研究.pdf
- LD转炉烟道系统设备设计研究.pdf
- Le FortⅠ截骨进路联合鼻内镜治疗鼻咽血管纤维瘤的临床疗效分析研究.pdf
- Leaching+of+Metals+from+Aquifer+Soils+during+Infiltration+of+Reclaimed+Water+of+Low+Ionic+Strength研究.pdf
最近下载
- (北京版2025新教材)英语三年级下册期中考试试卷(含听力音频+听力材料+答案) .pdf VIP
- 大学生应聘简历模板.ppt VIP
- 电子劳动合同模板.docx VIP
- (新统编版)语文八年级上册 第三单元 大单元教学设计.pdf VIP
- 北京市2024-2025学年新高三上学期入学定位考试政治试题 Word版含解析.docx VIP
- 2023年山东省13市中考真题记叙文阅读汇编.doc VIP
- GBT 34281-2017《全民健身活动中心分类配置要求》.pdf VIP
- 大学生交通安全教育.docx VIP
- 大学生心理健康认识自我悦纳自我.ppt VIP
- 智能 检测与监测 技术-智能建造技术专47课件讲解.pptx VIP
文档评论(0)