ncTiNaSi3N4超硬薄膜的弹性模量和内耗研讨.pdfVIP

摘 要 摘 要 本文设计并制造了薄膜内耗仪的机械装置，阐述了设计中应注意的问题。研 究了真空等因素对试样共振频率和内耗测量的影响。探索了测量薄膜剪切模量的 新方法。在此基础上，研究用等离子体增强化学气相沉积((PECV功和反应磁控溅 射制备的nc-TiN/a-Si3N。超硬薄膜的弹性模量和内耗。本文主要结论如下: (I)从室温到6000C,薄膜内耗仪的内耗测量精度 ‘0.5%，共振频率测量的 精度 ‘0.02%o (2)真空越高，因空气阻力而造成的共振频率 (杨氏模量)和内耗的测量误 差就越小，当真空4Pa时，它对共振频率和内耗测量的影响完全可以忽略不计。 (3)根据镀膜前后，试样的内耗和共振频率的变化来测量薄膜的杨氏模量和 内耗，结合试样变形中的应力应变关系以及内耗的定义，推导出具体的计算公式。 (4)提出了用扭摆测量(沉积在丝状衬底上的)薄膜剪切模量和内耗的新方法， 推导出相应的计算公式;并以沉积在NQo丝衬底上TiN/Ti(C,N)多层膜为例，获 得其剪切模量和内耗随温度的变化关系。 (5)测量了不同方法制备的nc-TiN/a-Si3N4薄膜的杨氏模量、剪切模量和 内耗随温度的变化关系。 (6)反应磁控溅射制备nc-TiN/a-Si3N4薄膜中，在280-3000C附近观察到内耗 峰，而且随着退火温度的升高逐渐减弱。初步解释了内耗峰产生的可能机制。 此外，采用反应磁控溅射初步进行了制备Al-Si一硬质薄膜的探索，观察到 当氮分压占工作气压的10%，制备AI-Si-N薄膜的硬度取得最大值。 关键词: 超硬度、nc-TiN/a-Si3N4,薄膜内耗、弹性模量、振簧技术 nc-TiN/a-SO。超硬薄膜的弹性模量和内耗研究 ElasticModulusandInternalFrictionStudyof nc-TiNla-Si3N4SuperhardFilms ByZhao-shengLi Specialyt:PhysicsofCondensedMatter DirectedbyProfessorQ.FFang Abstract Thedissertationintroducedthesetupdesignoftheapparatusforinternalfriction offilms,andstudiedtheeffectofvacuumonYoungsmodulusandapparentinternal rfiction.Anovelmethodtoevaluateshearmodulusoffilmswasdeveloped.Thenwe researchedthepropertiesofnc-TiN/a-Si3N4filmspreparedbyPECVDandPVD, suchaselasticmodulusandinternalfriction.Themainresultswereasfollows: (1)Fromroomtemperatureto6000C,theprecisionsfortheinternalrfiction measurementandtheresonantrfequencymeasurementare_0.5%and5:0.02%, respectively. (2)Theeffectofvacuumoninternalrfictionandresonancerfequencymeasurements isgraduallybatedwiththedecreaseofairpressure,anditcanbeomittedwhenthe airpressureislowerthan4Pa. (3)TheinternalfrictionandYoungsmodulusofathinfilmcnabedeterminedfrom thechnagesintheinternalfrictionnadtheresonnacerfequenc