基于狭缝波导的聚合物辅助热无关硅基阵列波导光栅研究.pdfVIP

仝刚筇四届塑料光纤、聚合物光r学会议论文集 基于狭缝波导的聚合物辅助热无关硅基阵列波导光栅+ 王翔，肖司淼，王帆，郝寅雷，江晓清，王明华，杨建义” 浙江大学微电子与光电子研究所，杭州，310027 摘要：论文提{II了一种对温度不敏感的硅基阵列波导光栅(AwG)的结构。该结构引入狭缝波导 结构，在AWG的阵列波导区使用狭缝波导代替传统的单模硅波导。狭缝波导的狭缝处填充具有负 热光系数的聚合物材料，有效解决了传统的硅基AWG中心波长随温度产生严重漂移的问题。 关键词：热无关，阵列波导光栅(AWG)，狭缝波导，聚合物，SOl 0引言 用／解复用性能．因此在许多波长相关的光器件中得到了广泛应用。尽管已有了商用的AWG，一直 以来人们对AWG的研究仍然很活跃。小尺寸、结构紧凑的AWG器件的设计与工艺实现是近几年AWG 研究的一个热点。 增加芯层与包层的折射率差(△)是减小芯片尺寸的有效方法，增加△可以减小波导尺寸、弯曲半 径和平板波导的聚焦长度，从而在很大程度上减小器件尺寸。对于传统的二氧化硅基的AWG，其△ 浅两次蚀刻的方法同时获得了小尺寸和较低的损耗，但该器件的串扰性能较差，不太适合应用于分 ／插复用器或光交叉连接器。