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全息光刻中的驻波效应研究-物理学报.PDFVIP

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  • 2018-01-27 发布于天津
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全息光刻中的驻波效应研究-物理学报.PDF

    全息光刻中的驻波效应研究-物理学报

    Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 1 (2012) 014204 * † † ( , 230029 ) ( 2011 2 25 ; 2011 3 21 ) , , , , . , , , . , , , , . : , , PACS: 42.40.Eq, 42,40.Kw 1 , . , , , . ,

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