PbSc05Ta05O3铁电薄膜制备及微结构分析研究.pdfVIP

PbSc饥5T她。O。铁电薄膜制各及微结构分析’ 胡勇 曾亦可 刘梅冬 姜胜林 邓传益 陈麦 李元昕 (华中科技大学电子科学与技术系 武汉430074) 摘要： Il 用Sol-Gel方法在Pt／Ti／S0t／St(100)基片上成功地制备出厚度迭1．5m。无裂纹的PbSct皿。0， 处理，结果表明：热处理温度在750℃时，PST薄膜转变为较为完整的ABO，型钙钛矿晶相结构，更高 的温度将提高晶粒在(220)方向的取向度．实验发现，最佳热处理务件应为750℃x15min，该条 停下制备的PST铁电薄膜呈蓝黑色，表面光亮。 关键词：PST；铁电薄膜；热处理；溶胶—疑胶；热释电性 1．引言 由于用铁电材料制成的热释电红外探测器具有无需制冷、可在室温工作、器件体积小，耗电少 和光谱响应宽等优点。使其广泛应用于各类辐射计、红外激光探测器和热成像仪等方面。与常用的 铁电材料相比，掺杂PbS％51‰503(简称PST)铁电材料具有很高的热释电系数和适宜的介电常数， 热释电探测优值可以提高数倍以上，器件体积可以减小且构造简单，兼容性好，能与半导体器件集 成