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第35卷第3期 福州大学学报(自然科学版) v。1．35N。．3
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基于EFAB工艺的可植入RFID天线设计
郭东辉1’2，陈华君1
(1．厦门大学物理系，福建厦门361005；2．厦门大学电子工程系，福建厦门36l005)
摘要：可植入阴D目前已被广泛应用于动物识别和生物医学应用等领域，为了保证RFlD在植入体内后避免引
起动物或人体的不适，小尺寸和高灵敏度是可植入RnD设计的基本要求．首先说明可植入RFID天线设计的基
本参数要求，然后介绍一种标准的MEMS工艺——EFAB工艺，并利用该工艺标准的设计规则进行可植入RFID
天线的结构设计，最后通过仿真验证该线圈天线符合可植入RnD的工作要求．
关键词：MEMS工艺；EFAB工艺；可植入胁D；微型线圈天线
61 文献标识码：A
中图分类号：TN820．12；TN821．4；7IN
of I匝田b鼬edonEFAB
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(1．Depart啪mPhysics，xiamenuniversity，Ⅺa眦n，FujiaIl
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active medical
plantable no瑚ally identi6cation，biologicsensor，
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introducea newMEMS —EFAB use to a
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bodilydisconlfbrt．Here，we process process，anddesign
micro—coilanterulafor RFID．Wit}lits aJldelect跚ic simula—
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